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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2017-0061114 (2017-05-17) | |
| 공개번호 | 10-2018-0126658 (2018-11-28) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020170061114 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2017-05-17) | |
| 심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
| 법적상태 | 거절 |
본 발명은 복수의 애노드 전극과 복수의 캐소드 전극에서 전기분해 반응을 일으켜 NF3를 제조하는 NF3 제조용 전해조의 가스 포집체에 있어서, 일정 개수의 애노드 전극들 주위를 감싸는 사각 관 형상의 측면부; 상기 측면부의 상단에 대하여 수직으로 연장하여 형성되는 플랜지; 및 상기 측면부의 하단 측에 상기 애노드 전극을 잡아주어 지지하는 한쌍 이상의 보강 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 열변형이 개선된 NF3 제조용 전해조의 가스 포집체를 제공한다.
복수의 애노드 전극과 복수의 캐소드 전극에서 전기분해 반응을 일으켜 NF3를 제조하는 NF3 제조용 전해조의 가스 포집체에 있어서,일정 개수의 애노드 전극들 주위를 감싸는 사각 관 형상의 측면부;상기 측면부의 상단에 대하여 수직으로 연장하여 형성되는 플랜지; 및상기 측면부의 하단 측에 상기 애노드 전극을 잡아주어 지지하는 한쌍 이상의 보강 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 열변형이 개선된 NF3 제조용 전해조의 가스 포집체.
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