초록 ▼

본 발명은 NF3 가스의 제조 시 양극/음극에서 발생된 HF의 회수장치 및 회수방법에 관한 것이다.　 본 발명은 NF3 가스의 제조 시 양극/음극 가스에 발생된 산성불화암모늄을 제거하는 불화물 제거 유닛; 및 상기 양극/음극 가스에 포함된 HF를 액화시켜 회수하는 HF 회수 유닛을 포함하고, 상기 HF 회수 유닛은 불화물 제거 유닛의 후단에 설치된 NF3 가스의 제조 시 발생된 HF의 회수장치를 제공한다.　 또한, 본 발명은 NF3 가스의 제조 시 양극/음극 가스에 포함된 산성불화암모늄을 제거하는 전처리단계; 및 상기 양극/음극 가

본 발명은 NF3 가스의 제조 시 양극/음극에서 발생된 HF의 회수장치 및 회수방법에 관한 것이다.　 본 발명은 NF3 가스의 제조 시 양극/음극 가스에 발생된 산성불화암모늄을 제거하는 불화물 제거 유닛; 및 상기 양극/음극 가스에 포함된 HF를 액화시켜 회수하는 HF 회수 유닛을 포함하고, 상기 HF 회수 유닛은 불화물 제거 유닛의 후단에 설치된 NF3 가스의 제조 시 발생된 HF의 회수장치를 제공한다.　 또한, 본 발명은 NF3 가스의 제조 시 양극/음극 가스에 포함된 산성불화암모늄을 제거하는 전처리단계; 및 상기 양극/음극 가스에 포함된 HF를 액화시켜 회수하는 HF 회수단계를 포함하고, 상기 HF 회수단계는 전처리단계 이후에 진행하는 NF3 가스의 제조 시 발생된 HF의 회수방법을 제공한다.　 본 발명에 따르면, NF3 가스의 제조 시, 양극/음극 가스에 포함된 HF를 고농도로 회수할 수 있다.　 이에 따라, NF3 가스를 고순도로 정제(제조)할 수 있으면서 고가의 HF를 NF3 가스의 제조 원료로 재사용할 수 있어 NF3 가스의 원단위를 낮출 수 있고, 폐수처리비용 등을 절감할 수 있다.

대표청구항 ▼

NF3 가스의 제조 시 양극에서 발생된 NF3 가스에 포함된 산성불화암모늄과 N2F2를 제거하는 불화물 제거 유닛; 및 상기 NF3 가스에 포함된 HF를 액화시켜 회수하는 HF 회수 유닛;을 포함하여 구성되는 HF 회수장치로서,상기 HF 회수 유닛은 불화물 제거 유닛의 후단에 설치되되,HF를 1차 냉각시키는 제1열교환기; 상기 제1열교환기의 후단에 설치되고, 상기 1차 냉각된 HF를 2차 냉각하여 액화시키는 제2열교환기; 상기 제2열교환기의 하단에 설치되고, 상기 액화된 HF를 포집하는 HF 포집부; 및 상기 HF 포집부에 포집된

NF3 가스의 제조 시 양극에서 발생된 NF3 가스에 포함된 산성불화암모늄과 N2F2를 제거하는 불화물 제거 유닛; 및 상기 NF3 가스에 포함된 HF를 액화시켜 회수하는 HF 회수 유닛;을 포함하여 구성되는 HF 회수장치로서,상기 HF 회수 유닛은 불화물 제거 유닛의 후단에 설치되되,HF를 1차 냉각시키는 제1열교환기; 상기 제1열교환기의 후단에 설치되고, 상기 1차 냉각된 HF를 2차 냉각하여 액화시키는 제2열교환기; 상기 제2열교환기의 하단에 설치되고, 상기 액화된 HF를 포집하는 HF 포집부; 및 상기 HF 포집부에 포집된 HF를 회수하는 HF 회수라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 NF3 가스의 제조 시 발생된 HF의 회수장치.