초록 ▼

본 발명은 챔버의 내측에서부터 외곽에 이르기까지 더욱 균일한 플라즈마 밀도분포를 이룰 수 있도록 안테나의 구조를 개선한 것인 바, 일단에 RF전원이 인가되는 파워드 엔드가 형성되고 타단은 접지된 적어도 2개의 안테나가 전기적으로 병렬로 설치되고, 각 안테나의 파워드 엔드와 그라운드 엔드는 안테나의 중심에 대하여 대칭위치에 배치되며, 각 안테나에는 상하천이부가 존재하여 안테나의 파워드 엔드와 그라운드 엔드는 챔버에서 먼 위치에 배치되고 각 안테나의 중간 부분은 챔버에서 가까운 위치에 오도록 상호 평행하게 교차설치되는 유도결합형 플라즈

본 발명은 챔버의 내측에서부터 외곽에 이르기까지 더욱 균일한 플라즈마 밀도분포를 이룰 수 있도록 안테나의 구조를 개선한 것인 바, 일단에 RF전원이 인가되는 파워드 엔드가 형성되고 타단은 접지된 적어도 2개의 안테나가 전기적으로 병렬로 설치되고, 각 안테나의 파워드 엔드와 그라운드 엔드는 안테나의 중심에 대하여 대칭위치에 배치되며, 각 안테나에는 상하천이부가 존재하여 안테나의 파워드 엔드와 그라운드 엔드는 챔버에서 먼 위치에 배치되고 각 안테나의 중간 부분은 챔버에서 가까운 위치에 오도록 상호 평행하게 교차설치되는 유도결합형 플라즈마 발생장치의 안테나에 있어서; 상기 각 안테나(10,10')는 적어도 2개의 지선(10A,10B)(10'A,10'B)으로 분지되어지되, 각 지선(10A,10B)(10'A,10'B)간에는 안테나(10,10')의 전기적으로 병렬연결되고, 각각 분지된 안테나의 지선(10A,10B) (10'A,10'B)은 안테나(10,10')의 중심에 대하여 동심원상으로 배치된다.

대표청구항 ▼

일단에 RF전원이 인가되는 파워드 엔드가 형성되고 타단은 접지된 적어도 2개의 안테나가 전기적으로 병렬로 설치되고, 각 안테나의 파워드 엔드와 그라운드 엔드는 안테나의 중심에 대하여 대칭위치에 배치되며, 각 안테나에는 상하천이부가 존재하여 각 안테나의 파워드 엔드와 그라운드 엔드는 챔버에서 먼 위치에 배치되고 각 안테나의 중간 부분은 챔버에서 가까운 위치에 오도록 상호 평행하게 교차설치되는 유도결합형 플라즈마 발생장치의 안테나에 있어서,상기 각 안테나(10,10')는 적어도 2개의 지선(10A,10B)(10'A,10'B)으로 분지

일단에 RF전원이 인가되는 파워드 엔드가 형성되고 타단은 접지된 적어도 2개의 안테나가 전기적으로 병렬로 설치되고, 각 안테나의 파워드 엔드와 그라운드 엔드는 안테나의 중심에 대하여 대칭위치에 배치되며, 각 안테나에는 상하천이부가 존재하여 각 안테나의 파워드 엔드와 그라운드 엔드는 챔버에서 먼 위치에 배치되고 각 안테나의 중간 부분은 챔버에서 가까운 위치에 오도록 상호 평행하게 교차설치되는 유도결합형 플라즈마 발생장치의 안테나에 있어서,상기 각 안테나(10,10')는 적어도 2개의 지선(10A,10B)(10'A,10'B)으로 분지되어지되, 각각 분지된 지선(10A,10B)(10'A,10'B) 간에는 전기적으로 병렬로 연결되고 각각 분지된 안테나(10,10')의 지선(10A,10B)(10'A,10'B)은 안테나(10,10')의 중심에 대하여 동심원상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 유도결합형 플라즈마 발생장치의 안테나구조.