초록 ▼

본 발명은 피씨비(PCB)로 이루어진 유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나에 관한 것으로, 종래 금속 튜브를 벤딩하여 안테나를 제작하는 방식에서 안테나를 기판 상에 패턴 상으로 형성함으로써 플라즈마 균일도가 우수한 복잡한 형태의 안테나를 저렴한 비용으로 제작할 수 있고, 기존의 금속 튜브를 벤딩하여 제작하고 이들을 별도의 스페이서를 개재시켜 공간상에 배치하던 것에 비하여 가공 상의 난이도 및 가공 공차를 대폭 줄여 더욱 정밀한 구조의 성능이 우수한 안테나를 용이하게 제작할 수 있도록 한 것인 바, 이의 구성은 안테나 패턴이 식각 형

본 발명은 피씨비(PCB)로 이루어진 유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나에 관한 것으로, 종래 금속 튜브를 벤딩하여 안테나를 제작하는 방식에서 안테나를 기판 상에 패턴 상으로 형성함으로써 플라즈마 균일도가 우수한 복잡한 형태의 안테나를 저렴한 비용으로 제작할 수 있고, 기존의 금속 튜브를 벤딩하여 제작하고 이들을 별도의 스페이서를 개재시켜 공간상에 배치하던 것에 비하여 가공 상의 난이도 및 가공 공차를 대폭 줄여 더욱 정밀한 구조의 성능이 우수한 안테나를 용이하게 제작할 수 있도록 한 것인 바, 이의 구성은 안테나 패턴이 식각 형성된 복수의 기판(10,20)과, 이 기판(10,20)을 상하로 평행하게 적층할 수 있도록 지지하고 상,하 기판상에 형성된 안테나 패턴(12,22)을 상호 전기적으로 연결하여 안테나를 완성하기 위한 연결구(30)를 포함하여 이루어진 것으로, 식각에 의해 복잡한 형태의 안테나를 패턴 상으로 간단하고 정밀하게 형성할 수 있음과 아울러, 입체적으로도 복잡한 구조의 안테나를 안테나 패턴이 형성된 기판을 다중으로 적층하고 이들 패턴을 연결구로 연결함으로써 성능이 우수한 플라즈마 발생장치용 안테나를 저렴한 비용으로 제작할 수 있다.

대표청구항

유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나로,안테나 패턴이 식각 형성된 기판과;상기 기판을 상하로 평행하게 적층할 수 있도록 지지하고 기판상에 형성된 안테나 패턴을 상호 전기적으로 연결하여 안테나를 완성하도록 중앙의 금속재로 이루어진 코어부와 이 코어부 외측에 절연체로 형성되는 지지부를 갖는 연결구;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 피씨비(PCB)로 이루어진 유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나.

유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나로,안테나 패턴이 식각 형성된 기판과;상기 기판을 상하로 평행하게 적층할 수 있도록 지지하고 기판상에 형성된 안테나 패턴을 상호 전기적으로 연결하여 안테나를 완성하도록 중앙의 금속재로 이루어진 코어부와 이 코어부 외측에 절연체로 형성되는 지지부를 갖는 연결구;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 피씨비(PCB)로 이루어진 유도결합형 플라즈마 발생장치용 안테나.