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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2005-0132453 (2005-12-28) |
공개번호 | 10-2007-0069868 (2007-07-03) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050132453 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 열전효과로써 펠리티효과를 이용한 정전척(ESC)의 웨이퍼 쿨링시스템에 관한 것이다.이를 위한 본 발명은, 핀샤프트(30)에 의해 구동되는 리피트 핀(40)상에 웨이퍼(10)가 놓여지고, 직류전류가 공급되어지는 열전소자 부재(60)가 정전기 척(50)의 하단에 설치되어 있으며, 상기 정전기 척(50)과 열전소자 부재(60)의 한 부분을 통과하는 써머 커플러(20)가 설치되도록 구비하여; 상기 열전소자 부재(60)의 열전소자(4)를 이용하여 냉각을 할 때 직류 전류를 통해 온도를 콘트롤할 수 있어 정확한 온도 조절을 한 것을
핀샤프트(30)에 의해 구동되는 리피트 핀(40)상에 웨이퍼(10)가 놓여지고, 직류전류가 공급되어지는 열전소자 부재(60)가 정전기 척(50)의 하단에 설치되어 있으며, 상기 정전기 척(50)과 열전소자 부재(60)의 한 부분을 통과하는 써머 커플러(20)가 설치되도록 구비하여; 상기 열전소자 부재(60)의 열전소자(4)를 이용하여 냉각을 할 때 직류 전류를 통해 온도를 콘트롤할 수 있어 정확한 온도 조절을 한 것을 특징으로 하는 정전기척의 웨이퍼 쿨링시스템.
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