[특허]반도체 기재의 냉각기능을 갖춘 반도체 제조장치

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반도체 기재의 냉각기능을 갖춘 반도체 제조장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/20 H01L-021/205 H01L-021/68 H01L-021/02
출원번호	10-2005-0081802 (2005-09-02)
공개번호	10-2007-0025525 (2007-03-08)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020050081802
발명자 / 주소	박병은 / 서울특별시 양천구 목동 - 청림빌라 ***호
출원인 / 주소	서울시립대학교 산학협력단 / 서울 동대문구 전농동 **
대리인 / 주소	홍성훈; 김유 (HONG SUNG HOON) 경기 수원시 영통구 영통동 ***- 청명타운텔 *호 (드림인국제특허법률사무소); 서울 강남구 역삼동 -* 태원빌딩 층 **호(사랑국제특허법률사무소)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록

본 발명은 반도체 제조에 사용되는 기재의 온도를 일정 이하로 제한하면서 반도체 장치를 제조할 수 있도록 된 반도체 기재의 냉각기능을 갖춘 반도체 제조장치에 관한 것이다. 본 발명은 반도체 기판상에 박막을 형성하는데 사용되는 반도체 장치의 제조장치에 있어서, 박막처리가 실행되는 용기와, 상기 용기내에 설치되어 반도체 기판을 장착하기 위한 서셉터 및, 상기 반도체 기판을 서셉터에 장착하였을 때, 상기 반도체 기판의 배면측에 설치되어 반도체 기판의 온도를 조절하는 온도조절부재를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

대표청구항

반도체 기판상에 박막을 형성하는데 사용되는 반도체 장치의 제조장치에 있어서,박막처리가 실행되는 용기와,상기 용기내에 설치되어 반도체 기판을 장착하기 위한 서셉터 및,상기 반도체 기판을 서셉터에 장착하였을 때, 상기 반도체 기판의 배면측에 설치되어 반도체 기판의 온도를 조절하는 온도조절부재를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 기재의 냉각기능을 갖춘 반도체 제조장치.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

[한국] 반도체 제조 공정설비용 열전냉각 온도조절장치 | 김태훈, 김병철, 이영우, 김태룡
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[일본] FILM FORMATION DEVICE | KITANO TAKAHIRO, KOBAYASHI SHINJI, EZAKI YUKIHIKO, MORIKAWA SUKEAKI
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

이 특허와 함께 이용한 콘텐츠

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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