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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2006-0032743 (2006-04-11) |
| 공개번호 | 10-2007-0101574 (2007-10-17) |
| 등록번호 | 10-0790988-0000 (2007-12-26) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020060032743 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2006-04-11) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 등록 |
병렬검사시 피검사 소자의 개수가 증가되거나 자체 발열을 하는 경우에도 테스트 환경의 안정적 온도유지가 가능하고, 안정된 콘택을 유지할 수 있는 반도체 소자 검사용 핸들러에 관해 개시한다. 이를 위해 본 발명은 테스트 챔버를 격벽에 의하여 복수개의 검사공간으로 분리시키고, 각각 분리된 공간에 열전소자를 포함하는 제1 챔버, 제2 챔버 및 상기 제1 및 제2 챔버를 연결하는 파이프라인을 구성하여 액체 냉매를 통하여 반도체 소자의 테스트 환경의 온도를 제어한다. 그리고 안정된 콘택 유지를 위해 각 검사공간에 2개 이상의 가압 인가장치를
복수개의 반도체 소자가 트레이(TRAY)에 담겨져 투입되는 로딩부;상기 로딩부로부터 트레이에 탑재된 복수개의 반도체 소자가 투입되어 정해진 온도에서 에이징(AGING)되는 소크 챔버(SOAK CHAMBER);상기 소크 챔버에서 에이징된 복수개의 반도체 소자가 검사되는 공간으로서 그 내부 구성은 검사보드와 인접하여 설치된 제1 챔버와, 상기 제1 챔버와 인접하여 설치되고 다른 밀폐된 공간인 제2 챔버 및 상기 제1/제2 챔버와 연결되어 온도제어용 매질을 공급하고 회수하는 파이프(PIPE) 라인을 포함하는 테스트 챔버;상기 테스트 챔버
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