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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2006-0112610 (2006-11-15) |
공개번호 | 10-2008-0043937 (2008-05-20) |
등록번호 | 10-0842481-0000 (2008-06-24) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020060112610 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2006-11-15) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 시즈닝 레시피 방법에 관한 것으로서, 주식각 레시피를 런 조건으로 설정하는 단계와, 주식각 레시피의 온도 조건에 비하여, 어퍼챔버의 온도를 ±50℃로 하고 월챔버의 온도는 ±30℃로 하며 전극 온도는 -40℃의 범위 내로 설정하는 예비 시즈닝 1단계와, 주식각 레시피의 온도 조건에 비하여, 어퍼챔버의 온도를 ±20℃로 하고 월챔버의 온도는 ±20℃로 하며 전극 온도는 +15℃의 범위 내로 설정하는 예비 시즈닝 2단계와, 예비 시즈닝 1단계의 설정에 따라 테스트 웨이퍼를 식각하는 단계와, 예비 시즈닝 2단계의 설정에 따라
건식식각 챔버에서의 시즈닝 레시피 방법에 있어서,주식각 레시피를 런 조건으로 설정하는 단계와,상기 주식각 레시피의 온도 조건에 비하여, 어퍼챔버의 온도를 ±50℃로 하고, 월챔버의 온도는 ±30℃로 하며, 전극 온도는 -40℃의 범위 내로 설정하는 예비 시즈닝 1단계와,상기 주식각 레시피의 온도 조건에 비하여, 어퍼챔버의 온도를 ±20℃로 하고, 월챔버의 온도는 ±20℃로 하며, 전극 온도는 +15℃의 범위 내로 설정하는 예비 시즈닝 2단계와,상기 예비 시즈닝 1단계의 설정에 따라 테스트 웨이퍼를 식각하는 단계와,상기 예비 시즈닝
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