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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

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[한국특허] 웨이퍼 이송 장치
Apparatus for wafer transfer 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/677
출원번호 10-2006-0134581 (2006-12-27)
등록번호 10-0754880-0000 (2007-08-28)
DOI http://doi.org/10.8080/1020060134581
발명자 / 주소
  • 고성근 / 경기 안산시 단원구 초지동 그린빌 **단지 ****-***
  • 김호식 / 경기 용인시 풍덕천동 ****번지 삼성*차 아파트 ***동 ****호
출원인 / 주소
  • 주식회사 아토 / 경기도 시흥시 정왕동 ****-* 시화공단 *다 ***호
대리인 / 주소
  • 이철희 (Lee, Cheol Hee)
  • 서울 강남구 삼성동 ***-** 우경빌딩 ***호(가디언국제특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (2006-12-27)
심사진행상태 등록결정(심사전치후)
법적상태 소멸

초록 ▼

버퍼 모듈과 적어도 2개의 프로세스 모듈 간에 1쌍의 웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 이송 장치에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 로드포지션의 높이가 서로 다른 2개의 챔버를 구비하는 버퍼 모듈; 로드포지션의 높이가 서로 다른 2개의 챔버를 각각 구비하는 적어도 2개의 프로세스 모듈; 및 서로 다른 높이에서 수평으로 동작하는 2개의 로봇암을 구비하되, 상기 2개의 로봇암 각각의 양단에는 엔드이펙터를 구비하는 보조 암이 결합되어 있는 트랜스퍼 모듈을 구비하고, 상기 트랜스퍼 모듈의 하나의 로봇암이 상기 버퍼 모듈의

대표청구항

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