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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1998-0027167 (1998-12-29) |
공개번호 | 20-2000-0013900 (2000-07-15) |
등록번호 | 20-0264007-0000 (2002-01-30) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019980027167 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1998-12-29) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 웨이퍼 이송위치가 정확히 유지되는 반도체 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 본 고안인 웨이퍼 이송장치는 웨이퍼가 안착되도록 소정의 간격을 두고 설치되어 웨이퍼를 소정의 작업영역으로 이송시키는 제 1 및 제 2 이송대과, 상기 제 1 및 제 2 이송대 각각의 양단에 설치된 적어도 네 개 이상의 이송대 가이더와, 상기 이송대 가이더를 구동시켜 상기 웨이퍼가 상기 제 1 및 제 2 이송대에서 이탈되거나 안착되도록 상기 제 1 및 제 2 이송대의 간격을 넓히거나 좁히는 서보 모터와, 상기 서보 모터의 구동을 제어하기 위해 상기 제
웨이퍼를 이송시키기 위한 웨이퍼 이송장치에 있어서,웨이퍼가 안착되도록 소정의 간격을 두고 설치되어 웨이퍼를 소정의 작업영역으로 이송시키는 제 1 및 제 2 이송대와, 상기 제 1 및 제 2 이송대 각각의 양단에 설치된 적어도 네 개 이상의 이송대 가이더와,상기 이송대 가이더를 구동시켜 상기 웨이퍼가 상기 제 1 및 제 2 이송대에서 이탈되거나 안착되도록 상기 제 1 및 제 2 이송대의 간격을 넓히거나 좁히는 서보 모터와,상기 서보 모터의 구동을 제어하기 위해 상기 제 1 및 제 2 이송대의 일측에 설치된 발광센서와,상기 발광센서에
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