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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2006-0134581 (2006-12-27) |
등록번호 | 10-0754880-0000 (2007-08-28) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020060134581 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2006-12-27) |
심사진행상태 | 등록결정(심사전치후) |
법적상태 | 소멸 |
버퍼 모듈과 적어도 2개의 프로세스 모듈 간에 1쌍의 웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 이송 장치에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 로드포지션의 높이가 서로 다른 2개의 챔버를 구비하는 버퍼 모듈; 로드포지션의 높이가 서로 다른 2개의 챔버를 각각 구비하는 적어도 2개의 프로세스 모듈; 및 서로 다른 높이에서 수평으로 동작하는 2개의 로봇암을 구비하되, 상기 2개의 로봇암 각각의 양단에는 엔드이펙터를 구비하는 보조 암이 결합되어 있는 트랜스퍼 모듈을 구비하고, 상기 트랜스퍼 모듈의 하나의 로봇암이 상기 버퍼 모듈의
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