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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2006-7021504 (2006-10-17) |
공개번호 | 10-2006-0113797 (2006-11-02) |
등록번호 | 10-0759182-0000 (2007-09-10) |
국제출원번호 | PCT/JP1997/003490 (1997-09-30) |
국제공개번호 | WO1998014987 (1998-04-09) |
번역문제출일자 | 2006-10-17 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020067021504 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2006-10-17) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
SIO2 절연막 등의 표면을 흠 없이 고속으로 연마하기 위한 산화세륨 연마제가 개시되어 있다. 이 연마제는 1차 입자경이 10 내지 600 NM이고 1차 입자의 중위 입경이 30 내지 250 NM인 1차 입자를 포함하며, 중위 입경이 150 내지 600 NM이고 최대 직경이 3000 NM 이하인 산화세륨 입자를 매체에 분산시킨 슬러리를 포함한다.
다수의 1차 입자를 포함하는 산화 세륨 입자를 함유하는 슬러리를 포함하며, 상기 1차 입자는 본질적으로 산화 세륨으로 이루어지고, 30 내지 250 nm의 중위 입경을 가지며, 상기 산화 세륨 입자는 150 내지 600 nm의 중위 입경을 가지며, 탄산 세륨을 소성하여 얻어지는 산화 세륨을 분쇄하여 얻어지는 것인 산화 세륨 연마제.산화 세륨 입자를 포함하는 슬러리를 포함하는 산화 세륨 연마제로,그의 1차 입자가 30 내지 250 nm의 중위 입경 및 600 nm 이하의 1 차 입자 최대 직경을 가지고, 슬러리 입자는 150 내지 6
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