초록 ▼

본 발명은 반도체 웨이퍼, 쏠라 웨이퍼 등 각종 웨이퍼 제조공정에서 절삭효율을 높이고자 사용되는 슬러리를 사용 후 폐기되는 폐슬러리를 재생시키는 처리하는 방법과 그 시스템에 관한 것이다.이러한 각종 웨이퍼 제조공정에서 발생하는 폐슬러리 재생방법인 본 발명은, 폐슬러리에 함유된 연마재와 절삭분이 분산되도록 폐슬러리를 교반시키는 폐슬러리 교반단계(S10)와; 상기 교반단계에서 교반된 폐슬러리를 초음파를 이용한 입자 분산기로 분산시키는 분산단계(S20)와; 상기 분산단계에서 분산된 폐슬러리를 원심분리기를 이용하여 연마재 고형물을 추출하는

본 발명은 반도체 웨이퍼, 쏠라 웨이퍼 등 각종 웨이퍼 제조공정에서 절삭효율을 높이고자 사용되는 슬러리를 사용 후 폐기되는 폐슬러리를 재생시키는 처리하는 방법과 그 시스템에 관한 것이다.이러한 각종 웨이퍼 제조공정에서 발생하는 폐슬러리 재생방법인 본 발명은, 폐슬러리에 함유된 연마재와 절삭분이 분산되도록 폐슬러리를 교반시키는 폐슬러리 교반단계(S10)와; 상기 교반단계에서 교반된 폐슬러리를 초음파를 이용한 입자 분산기로 분산시키는 분산단계(S20)와; 상기 분산단계에서 분산된 폐슬러리를 원심분리기를 이용하여 연마재 고형물을 추출하는 원심분리단계(S30)와; 상기 원심분리단계에서 추출된 연마재 고형물을 교반시키는 연마재 고형물 교반단계(S40)와; 상기 교반단계에서 교반된 연마재를 연마재 정제기로 정제시키는 연마재 정제단계(S50)와; 상기 연마재 정제단계에서 정제된 연마재 고형물의 수분을 제거하는 건조단계(S60)와; 상기 건조단계에서 건조된 연마재를 파우더 상태로 가공하는 재생단계(S70)로 이루어지며,각종 웨이퍼 제조공정에서 발생하는 폐슬러리 재생시스템인 발명은, 투입된 폐슬러리를 교반하여 폐슬러리에 함유된 연마재와 절삭분으로 이루어진 침전물을 산개하는 폐슬러리용 교반기(10)와; 상기 교반기(10)에서 교반되어 유입된 폐슬러리를 초음파에 의하여 분산시키는 입자 분산기(20)와; 상기 입자 분산기(20)에서 분산된 폐슬러리로부터 원심분리하여 연마재를 추출하는 원심분리기(30)와; 상기 원심분리기(30)로부터 추출된 연마재를 저장하는 다수개의 서브탱크(40)와; 상기 서브탱크(40)의 연마재를 교반시키는 다수개의 교반기(50)와; 상기 교반기(50)로부터 연마재를 공급받아 연마재에 남아있는 불순물을 제거하도록 원심분리기에 세정장치가 설치된 다수개 연마재 정제기(60)와; 상기 연마재 정제기(60)에서 정제된 연마재를 건조시키는 건조기(70)와; 상기 건조기(70)에서 건조된 연마재를 재생하는 연마재 파우더 제조기(80)를 포함하도록 이루어진다.

대표청구항 ▼

원심분리기를 이용한 반도체 웨이퍼 제조공정에서 발생하는 폐슬러리의 재생방법에 있어서,폐슬러리에 함유된 연마재와 절삭분이 분산되도록 폐슬러리를 교반기로 교반시키는 폐슬러리 교반단계(S10)와;상기 교반단계에서 교반된 폐슬러리를 초음파를 이용한 입자 분산기로 분산시키는 분산단계(S20)와;상기 분산단계에서 분산된 폐슬러리를 원심분리기를 이용하여 연마재를 추출하는 원심분리단계(S30)와;상기 원심분리단계에서 추출된 연마재 고형물(SIC CAKE)을 교반기로 교반시키는 연마재 고형물 교반단계(S40)와;상기 교반단계에서 교반된 연마재를 연

원심분리기를 이용한 반도체 웨이퍼 제조공정에서 발생하는 폐슬러리의 재생방법에 있어서,폐슬러리에 함유된 연마재와 절삭분이 분산되도록 폐슬러리를 교반기로 교반시키는 폐슬러리 교반단계(S10)와;상기 교반단계에서 교반된 폐슬러리를 초음파를 이용한 입자 분산기로 분산시키는 분산단계(S20)와;상기 분산단계에서 분산된 폐슬러리를 원심분리기를 이용하여 연마재를 추출하는 원심분리단계(S30)와;상기 원심분리단계에서 추출된 연마재 고형물(SIC CAKE)을 교반기로 교반시키는 연마재 고형물 교반단계(S40)와;상기 교반단계에서 교반된 연마재를 연마재 정제기로 정제시키는 연마재 정제단계(S50)와;상기 연마재 정제단계에서 정제된 연마재 고형물(SIC CAKE)의 수분을 제거시키는 건조단계(S60)와;상기 건조단계에서 건조된 연마재 고형물(SIC CAKE)을 파우더 상태로 가공하는 재생단계(S70)를 포함하도록 이루어지며,상기 교반단계의 교반기와 연마재 정제단계의 연마재 정제기 사이에는 연마재를 임시 저장하는 서브탱크가 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 제조공정에서 발생하는 폐슬러리의 재생방법.