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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2007-0117250 (2007-11-16) |
등록번호 | 10-0858045-0000 (2008-09-04) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070117250 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-11-16) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
다수의 볼형 콜드 플레이트(ball type cold plate)를 적용하여 박막의 증착 및 식각시 프로세스 챔버에서 발생하는 반응부산물이 진공펌프로 흡입되는 것을 적극적으로 차단하며, 반응 부산물이 실제로 포집될 수 있는 유효 표면적을 최대한 확보하여 반응부산물의 포집 효과 및 포집 용량을 증대시키며 포집된 반응부산물에 대해서는 용이하게 제거할 수 있는 개량된 반도체 반응 부산물 트랩장치가 개시된다. 반도체 반응 부산물 트랩장치는 프로세스 챔버 내에서 박막의 증착 및 식각 과정에서 발생하는 반응 부산물을 포집하기 위한 반도체 반응
프로세스 챔버 내에서 박막의 증착 및 식각 과정에서 발생하는 반응 부산물을 포집하기 위한 반도체 반응 부산물 트랩장치로서, 입구와 출구가 대향 배치되는 중공의 제1 하우징, 상기 제1 하우징 내에 적어도 하나 또는 그 이상 배치되는 쿨링 파이프, 상기 제1 하우징의 내부에 채워지며 서로에 대하여 부분 접촉되는 다수의 볼형 콜드 플레이트(ball type cold plate)로 구성되는 제1 트랩; 및 상기 제1 하우징의 출구에 연결되는 중공의 제2 하우징, 상기 제2 하우징의 내부에 제공되는 히트 부재(heat member)로 구성
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