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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2007-0132575 (2007-12-17) |
공개번호 | 10-2009-0065124 (2009-06-22) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070132575 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-12-17) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 실리콘 나노선을 이용한 바이오 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 동일한 패턴이 연속적으로 반복되는 형태로 실리콘 나노선을 형성함으로써, 실리콘 나노선에 프루브분자가 고정되는 면적이 넓어져 검출 감도를 높일 수 있는 것을 특징으로 한다. 또한, 종래와 같이 실리콘 나노선의 선폭을 조절하지 않고도 타겟분자의 특성에 따라 실리콘 나노선의 동일한 패턴간의 간격을 조절하는 것에 의해 검출 감도를 간단하게 조절할 수 있다. 또한, 실리콘 나노선의 동일한 패턴간의 간격을 조절하여 검출 감도를 각각 다르게 함으로써 다양한 감도를
반도체 기판 상부에 형성된 소오스 전극 및 드레인 전극;상기 소오스 전극 및 드레인 전극 사이에 동일한 패턴이 연속적으로 반복되는 형태로 형성된 실리콘 나노선; 및상기 실리콘 나노선에 고정되어 외부로부터 주입되는 타겟분자와 반응하는 프루브분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 나노선을 이용한 바이오 센서.제 1항에 있어서, 상기 실리콘 나노선의 상하 및 양측면에 상기 프루브분자가 고정되며, 상기 실리콘 나노선의 상하 및 양측면에서 상기 프루브분자와 타겟분자의 결합반응이 일어나는 것을 특징으로 하는 실리콘 나노선을 이용한 바이오
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