[특허]정전척(ＥＳＣ) 패드 재생용 마스크

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정전척(ＥＳＣ) 패드 재생용 마스크 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/687
출원번호	10-2007-0139766 (2007-12-28)
공개번호	10-2009-0071848 (2009-07-02)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020070139766
발명자 / 주소	안교준 / 경기 여주군 가남면 신해리 동남아파트 *-**
출원인 / 주소	주식회사 동부하이텍 / 서울특별시 강남구 대치동 *-
대리인 / 주소	박영복; 김용인 (YOUNG-BOK PARK) 서울 송파구 잠실동 **- 현대빌딩 층(특허법률사무소); 서울 송파구 잠실동 - 현대빌딩 층 ((**특허법률사무소)
심사청구여부	있음 (2007-12-28)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록

정전척과 웨이퍼 사이에 사용되는 정전척 패드를 저렴하고 빠르게 재생할 수 있는 마스크가 제안되다. 이 정전척 패드 재생용 마스크는 하나의 판에 복수개의 정전척 패드 패턴들을 포함하고 상기 판은 내주면과 외주면을 갖는다. 상기 내주면과 외주면은 상기 정천적에 안정적으로 고정될 수 있도록 두께에 있어서 단차를 갖고 형성된다.

대표청구항 ▼

하나의 판에 복수개의 정전척 패드 패턴들을 포함하고 상기 판은 내주면과 외주면을 갖으며, 상기 내주면과 외주면은 상기 정천적에 안정적으로 고정될 수 있도록 두께에 있어서 단차를 갖고 형성 됨을 특징으로 하는 정전척 패드 재생용 마스크.제 1 항에 있어서, 상기 마스크는 원형임을 특징으로 하는 정전척 패드 재생용 마스크.제 2 항에 있어서, 상기 내주면의 내경 지름은 194mm이고 상기 외주면의외경 지름은 216.20mm임을 특징으로 하는 정전척 패드 재생용 마스크.제 1 항에 있어서, 상기 두께 단차는 약 2mm 임을 특징으로 하는 정전척패드 재생용 마스크.제 1 항에 있어서, 상기 정전척 패드 재생용 마스크의 재질은 상기 정전척 패를 재생할 시 발생할 수 있는 고온의 플라즈마 온도에 견딜 수 있는 금속 산화물임을 특징으로 하는 정전척 패드 재생용 마스크.제 5 항에 있어서, 상기 금속 산화물은 산화 알루미늄(Al₂O₃)임을 특징으로 하는 정전척 패드 재생용 마스크.

이 특허에 인용된 특허 (1)

[미국] Method and apparatus for fabricating a wafer spacing mask on a substrate support chuck | Flanigan Allen
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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