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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2007-0139766 (2007-12-28) |
공개번호 | 10-2009-0071848 (2009-07-02) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070139766 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-12-28) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
정전척과 웨이퍼 사이에 사용되는 정전척 패드를 저렴하고 빠르게 재생할 수 있는 마스크가 제안되다. 이 정전척 패드 재생용 마스크는 하나의 판에 복수개의 정전척 패드 패턴들을 포함하고 상기 판은 내주면과 외주면을 갖는다. 상기 내주면과 외주면은 상기 정천적에 안정적으로 고정될 수 있도록 두께에 있어서 단차를 갖고 형성된다.
하나의 판에 복수개의 정전척 패드 패턴들을 포함하고 상기 판은 내주면과 외주면을 갖으며, 상기 내주면과 외주면은 상기 정천적에 안정적으로 고정될 수 있도록 두께에 있어서 단차를 갖고 형성 됨을 특징으로 하는 정전척 패드 재생용 마스크.제 1 항에 있어서, 상기 마스크는 원형임을 특징으로 하는 정전척 패드 재생용 마스크.제 2 항에 있어서, 상기 내주면의 내경 지름은 194mm이고 상기 외주면의외경 지름은 216.20mm임을 특징으로 하는 정전척 패드 재생용 마스크.제 1 항에 있어서, 상기 두께 단차는 약 2mm 임을 특징으로 하는
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