초록

본 발명은 정전척을 사용하면서 불가피하게 발생되는 웨이퍼 스틱킹 현상을 방지함으로써 생산성을 향상시키도록 한 반도체 웨이퍼의 정전척 및 이를 이용한 웨이퍼 고정방법에 관한 것으로서, 웨이퍼가 로딩되는 정전척과, 상기 정전척을 관통하여 상하 이동하면서 상기 웨이퍼를 승하강시키는 리프트 핀과, 및 상기 정전척의 하부에 설치되고 상기 리프트 핀의 내부를 선택적으로 저진공 또는 저전압 상태로 만들어 상기 리프트 핀을 상하로 이동시킬 때 진공을 통해 상기 웨이퍼를 고정하는 리프트 구동부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

웨이퍼가 로딩되는 정전척과, 상기 정전척을 관통하여 상하 이동하면서 상기 웨이퍼를 승하강시키는 리프트 핀과, 및상기 정전척의 하부에 설치되고 상기 리프트 핀의 내부를 선택적으로 저진공 또는 저전압 상태로 만들어 상기 리프트 핀을 상하로 이동시킬 때 진공을 통해 상기 웨이퍼를 고정하는 리프트 구동부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 정전척.웨이퍼를 정전척 위에 로딩하기 위해 리프트 핀을 하강시에는 저진공 상태를 유지하여 상기 웨이퍼를 잡아주어 고정하는 단계; 및상기 정전척으로부터 웨이퍼를 언로딩하기 위해 리프트 핀을

웨이퍼가 로딩되는 정전척과, 상기 정전척을 관통하여 상하 이동하면서 상기 웨이퍼를 승하강시키는 리프트 핀과, 및상기 정전척의 하부에 설치되고 상기 리프트 핀의 내부를 선택적으로 저진공 또는 저전압 상태로 만들어 상기 리프트 핀을 상하로 이동시킬 때 진공을 통해 상기 웨이퍼를 고정하는 리프트 구동부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 정전척.웨이퍼를 정전척 위에 로딩하기 위해 리프트 핀을 하강시에는 저진공 상태를 유지하여 상기 웨이퍼를 잡아주어 고정하는 단계; 및상기 정전척으로부터 웨이퍼를 언로딩하기 위해 리프트 핀을 승강할 때는 리프트 구동부에서 펌핑을 진행하여 상기 리프트 핀의 내부를 저기압 상태로 만들어 상기 웨이퍼를 진공을 통해 고정하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 정전척을 이용한 웨이퍼 고정방법.