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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2007-7004000 (2007-02-20) |
공개번호 | 10-2007-0028619 (2007-03-12) |
등록번호 | 10-0852817-0000 (2008-08-11) |
국제출원번호 | PCT/JP2005/010446 (2005-06-01) |
국제공개번호 | WO2006008882 (2006-01-26) |
번역문제출일자 | 2007-02-20 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020077004000 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-02-20) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
절역막(1)의 특성을 평가하는 방법이 개시된다. 절연막 (1)은 절연성 무기물질을 주재료로 하여 형성되고, 절연성 무기 물질은 실리콘 및 산소를 포함한다. 절연막(1)은 수소 원자를 더욱 포함한다. 방법은 다음 단계를 포함한다: 전계를 인가하지 않은 상태의 상기 절연막을 승온 이탈 가스 분석법으로 분석하는 단계; 가열 온도가 500 내지 1000 ℃ 범위의 온도에서 측정되는 H2 프레그먼트의 강도와 OH 프레그먼트의 강도를 비교하는 단계, 및 상기 비교 결과에 기초하여 상기 절연막의 특성을 평가하는 단계.
실리콘 및 산소 원자를 함유하는 절연성 무기 재료를 주재료로 하여 형성되고, 수소 원자를 포함하는 절연막의 특성을 평가하는 평가 방법으로서, 전계를 인가하지 않은 상태의 상기 절연막을 승온 이탈 가스 분석법으로 분석하는 단계| 500 내지 1000 ℃ 범위의 온도에서 절연막을 가열하는 상태에서 측정되는 H2 프레그먼트의 강도와 OH 프레그먼트의 강도를 비교하는 단계| 및 상기 비교 결과에 기초하여 상기 절연막의 특성을 평가하는 단계를 포함하는 절연막 특성의 평가 방법.제1항에 있어서, 상기 평가 단계가 상기 비교 결과와 상관 관계
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