초록

본 발명의 과제는, 불화 수소 함유 용융염을 전기 분해함으로써 불소 또는 삼불화 질소를 제조하는 전기 분해 장치로서, 높은 전류 밀도에서도 양극 효과를 발생시키지 않고 양극 용해를 일으키지 않으면서 작동될 수 있는 전기 분해 장치를 제공하는 것이다. 본 발명에서, 이 과제는, 도전성 다이아몬드로 피복된 전극을 양극으로 사용하여 불화 수소 함유 용융 염을 1~1000 A/dm2 의 인가 전류 밀도에서 전기 분해함으로써 불소 또는 삼불화 질소를 제조하는 전기 분해 장치에 의해 달성된다.

대표청구항 ▼

불화 수소 함유 용융 염을 1~1000 A/dm2 의 인가 전류 밀도에서 전기 분해함으로써 불소 또는 삼불화 질소를 제조하는 전기 분해 장치로서,격벽에 의해 양극실과 음극실로 나누어지는 전해조,상기 양극실에 배치되는 양극,상기 음극실에 배치되는 음극을 포함하고,상기 전해조는 전해액으로서의 불화 수소 함유 용융염 또는 불화 수소 함유 용융염의 원료를 그 안으로 공급하기 위한 입구를 가지며,상기 양극실은 상기 전해조로부터 가스를 추출하기 위한 양극 가스 출구를 가지며,상기 음극실은 상기 전해조로부터 가스를 추출하기 위한 음극 가스 출구

불화 수소 함유 용융 염을 1~1000 A/dm2 의 인가 전류 밀도에서 전기 분해함으로써 불소 또는 삼불화 질소를 제조하는 전기 분해 장치로서,격벽에 의해 양극실과 음극실로 나누어지는 전해조,상기 양극실에 배치되는 양극,상기 음극실에 배치되는 음극을 포함하고,상기 전해조는 전해액으로서의 불화 수소 함유 용융염 또는 불화 수소 함유 용융염의 원료를 그 안으로 공급하기 위한 입구를 가지며,상기 양극실은 상기 전해조로부터 가스를 추출하기 위한 양극 가스 출구를 가지며,상기 음극실은 상기 전해조로부터 가스를 추출하기 위한 음극 가스 출구를 가지며,상기 양극은 도전성 기판 및 이 도전성 기판의 표면 중 적어도 일부에 형성되는 피복층을 포함하며,상기 도전성 기판 중 적어도 표면 부분은 도전성 탄소질 재료로 이루어지며,상기 피복층은 다이아몬드 구조를 가지는 도전성 탄소질 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기 분해 장치.