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연합인증

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삼불화질소로부터 오염물질을 제거하기 위한 방법 및 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • B01D-053/02
  • B01D-053/68
  • C01B-021/083
출원번호 10-2013-0071802 (2013-06-21)
공개번호 10-2013-0143528 (2013-12-31)
우선권정보 미국(US) 13/913,069 (2013-06-07);미국(US) 61/662,698 (2012-06-21)
DOI http://doi.org/10.8080/1020130071802
발명자 / 주소
  • 존슨, 앤드류 데이비드 / 미국 ***** 펜실베이니아 도일스타운 사우스 프랭클린 스트리트 ***
  • 랭건, 존 지일스 / 미국 ***** 펜실베이니아 브레이닝스빌 퍼트넘 코트 ****
출원인 / 주소
  • 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 / 미합중국 펜실베니아주 *****-**** 알렌타운시 해밀턴 불라바아드 ****
대리인 / 주소
  • 특허법인 남앤드남
심사청구여부 있음 (2013-06-21)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

10 ppm 또는 그 미만의 불순물 함량을 지닌 매우 순수한 불화질소 공정 유체가 방사선을 사용하여 불순물 중의 화학 결합의 분해를 일으켜서 분해 생성물을 형성시키고, 이로써 공정 유체로부터 불순물을 제거하는 것보다 용이하게 공정 유체로부터의 분해 생성물을 제거함으로써 효과적으로 얻어질 수 있다.

대표청구항

삼불화질소 및 하나 이상의 오염물질을 포함하는 공정 유체를 정제하는 방법으로서, 공정 유체를 상기 하나 이상의 오염물질에 의해 흡수되는 주파수를 포함하는 광으로 조사하여 상기 하나 이상의 오염물질의 하나 이상의 화학 결합을 분해시킴으로써 하나 이상의 분해 생성물을 형성시키는 단계를 포함하는 방법.

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [일본] PURIFICATION OF NITROGEN TRIFLUORIDE | NISHITSUJI TOSHIHIKO, MOMOTAKE HIROYUKI, HARADA ISAO, IWANAGA TOKUYUKI
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