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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0126819 (2016-09-30) | |
공개번호 | 10-2017-0040109 (2017-04-12) | |
등록번호 | 10-1771862-0000 (2017-08-21) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020150139285 (2015-10-02) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160126819 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-09-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 실시예에 따른 NF3 제조용 전해조의 콜렉터는 소정 개수의 애노드 전극들 주위를 감싸는 사각 관 형상의 측면부, 상기 측면부의 상단에 대하여 수직으로 연장하여 형성되는 플랜지, 및 상기 측면부의 하단 측에 배치되어 설정 높이까지 상기 측면부를 둘러싸도록 형성되는 판상의 링 형상의 보강링을 포함하고, 상기 측면부는, 상기 하단에서 상기 보강링의 높이에 상응하는 높이까지 상기 보강링의 두께에 상응하는 크기만큼 내측으로 돌출되도록 두껍게 형성되는 보강링 결합부가 형성 것을 특징으로 한다.
복수의 애노드 전극과 복수의 캐소드 전극에서 전기분해 반응을 일으켜 NF3를 제조하는 NF3 제조용 전해조의 콜렉터에 있어서,소정 개수의 애노드 전극들 주위를 감싸는 사각 관 형상의 측면부;상기 측면부의 상단에 대하여 수직으로 연장하여 형성되는 플랜지; 및상기 측면부의 하단 측에 배치되어 설정 높이까지 상기 측면부를 둘러싸도록 형성되는 판상의 링 형상의 보강링을 포함하고,상기 측면부는, 상기 하단에서 상기 보강링의 높이에 상응하는 높이까지 상기 보강링의 두께에 상응하는 크기만큼 내측으로 돌출되도록 두껍게 형성되는 보강링 결합부가 형
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