IPC분류정보
| 국가/구분 |
한국(KR)/공개특허
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| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 |
10-2007-7019781
(2007-08-30)
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| 공개번호 |
10-2007-0115916
(2007-12-06)
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| 국제출원번호 |
PCT/JP2005/005976
(2005-03-29)
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| 국제공개번호 |
WO2006103751
(2006-10-05)
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| 번역문제출일자 |
2007-08-30
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| DOI |
http://doi.org/10.8080/1020077019781
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발명자
/ 주소 |
- 사이토우 노리유키
/ 일본 후쿠오카켕 기타큐슈시 야하타니시쿠 구로사키시로이시 *방*고 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 나이
- 가츠키 다카노부
/ 일본 후쿠오카켕 기타큐슈시 야하타니시쿠 구로사키시로이시 *방*고 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 나이
- 이시카와 마코토
/ 일본 후쿠오카켕 기타큐슈시 야하타니시쿠 구로사키시로이시 *방*고 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 나이
- 아오키 마스미
/ 일본 후쿠오카켕 기타큐슈시 야하타니시쿠 구로사키시로이시 *방*고 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 나이
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| 출원인 / 주소 |
- 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 / 일본 도쿄도 미나또꾸 시바 *쵸메 **방 *고
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| 대리인 / 주소 |
-
특허법인코리아나
(Koreana Patent Firm)
-
서울특별시 강남구 역삼동 ***-**
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| 심사진행상태 |
취하(심사미청구) |
| 법적상태 |
취하 |
초록
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다른 금속이 공존하는 경우라 하더라도 구리 또는 구리 합금을 선택적으로 또한 균일하게 에칭한다.적어도 옥살산암모늄, 과산화수소, 및 계면활성제를 함유하고, 표면 장력이 45mN/m 이하이며, pH 가 6.0 ~ 8.5 인 구리 에칭액이다. 옥살산암모늄은 구리를 구리 착물로서 용해시키기 위한 착화제로서 기능하고, 과산화수소는 구리 표면을 산화시키기 위한 산화제로서 기능하며, 계면활성제를 함유시킴으로써 에칭액의 표면 장력을 45mN/m 이하로 저하시키고, 이로 인해, 기판면에 대한 젖음성, 기판 구조에 있어서의 고애스펙트부의 에
다른 금속이 공존하는 경우라 하더라도 구리 또는 구리 합금을 선택적으로 또한 균일하게 에칭한다.적어도 옥살산암모늄, 과산화수소, 및 계면활성제를 함유하고, 표면 장력이 45mN/m 이하이며, pH 가 6.0 ~ 8.5 인 구리 에칭액이다. 옥살산암모늄은 구리를 구리 착물로서 용해시키기 위한 착화제로서 기능하고, 과산화수소는 구리 표면을 산화시키기 위한 산화제로서 기능하며, 계면활성제를 함유시킴으로써 에칭액의 표면 장력을 45mN/m 이하로 저하시키고, 이로 인해, 기판면에 대한 젖음성, 기판 구조에 있어서의 고애스펙트부의 에칭액의 침투성을 향상시키고, 배선 또는 전극용의 양도전성을 갖는 금속의 공존하에 있어서, 구리 또는 구리 합금을 균일하게 또한 선택적으로 에칭할 수 있다.
대표청구항
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구리 또는 구리 합금을 에칭하기 위한 에칭액으로서, 적어도 옥살산암모늄, 과산화수소, 및 계면활성제를 함유하고, 표면 장력이 45MN/M 이하이며, PH 가 6.0 ~ 8.5 인 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.제 1 항에 있어서, 추가로 아미노산을 함유하고, 아미노산의 함유량이 0.2 ~ 25 중량％ 인 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.제 2 항에 있어서, 그 아미노산이 글리신인 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.제 1 항에 있어서, 그 계면활성제가 -SO3M기, -OSO3M기, 및 -COOM기 (단, M 은 알칼리금속류, 또는 수
구리 또는 구리 합금을 에칭하기 위한 에칭액으로서, 적어도 옥살산암모늄, 과산화수소, 및 계면활성제를 함유하고, 표면 장력이 45MN/M 이하이며, PH 가 6.0 ~ 8.5 인 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.제 1 항에 있어서, 추가로 아미노산을 함유하고, 아미노산의 함유량이 0.2 ~ 25 중량％ 인 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.제 2 항에 있어서, 그 아미노산이 글리신인 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.제 1 항에 있어서, 그 계면활성제가 -SO3M기, -OSO3M기, 및 -COOM기 (단, M 은 알칼리금속류, 또는 수소원자를 나타냄) 로 이루어지 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상의 관능기를 갖는 음이온계 계면활성제, 및/또는 옥시알킬렌기의 반복 단위 구조를 갖는 비이온계 계면활성제인 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.제 4 항에 있어서, 그 계면활성제가 폴리옥시알킬렌알킬에테르 유도체인 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.제 1 항에 있어서, 옥살산암모늄의 함유량이 0.05 ~ 5 중량％ 이고, 과산화수소의 함유량이 0.2 ~ 10 중량％ 이며, 계면활성제의 함유량이 0.0001 ~ 5 중량％ 인 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.제 1 항에 있어서, 배선 또는 전극용의 양도전성을 갖는 금속의 공존하에 있어서, 구리 또는 구리 합금을 선택적으로 에칭하기 위한 에칭액인 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.제 7 항에 있어서, 배선 또는 전극용의 양도전성을 갖는 금속이 알루미늄, 티탄, 니켈, 주석, 납, 은, 금, 팔라듐 및 이들 금속의 1 종 이상을 주성분으로 하는 합금으로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상인 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.제 1 항에 있어서, 20 ~ 50℃ 의 온도에서 사용되는 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.제 1 항에 있어서, 적어도 옥살산암모늄, 과산화수소, 및 계면활성제를 함유하는 유효 성분과 물을 혼합시킴으로써 조제된 구리 에칭액으로서, 과산화수소 이외의 유효 성분과 물을 혼합시킨 후, 그 혼합물에 과산화수소를 첨가 혼합하여 얻어지는 것을 특징으로 하는 구리 에칭액.배선 또는 전극용의 양도전성을 갖는 금속의 공존하에 있어서, 구리 또는 구리 합금을 선택적으로 에칭하는 방법으로서, 적어도 옥살산암모늄, 과산화수소, 및 계면활성제를 함유하고, 표면 장력이 45MN/M 이하이며, PH 가 6.0 ~ 8.5 인 에칭액을 사용하는 것을 특징으로 하는 에칭 방법.제 11 항에 있어서, 그 에칭액이 추가로 아미노산을 함유하고, 아미노산의 함유량이 0.2 ~ 25 중량％ 인 것을 특징으로 하는 에칭 방법.제 12 항에 있어서, 그 아미노산이 글리신인 것을 특징으로 하는 에칭 방법.제 11 항에 있어서, 그 계면활성제가, -SO3M기, -OSO3M기, 및 -COOM기 (단, M 은 알칼리금속류, 또는 수소원자를 나타냄) 로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상의 관능기를 갖는 음이온계 계면활성제, 및/또는 옥시알킬렌기의 반복 단위 구조를 갖는 비이온계 계면활성제인 것을 특징으로 하는 에칭 방법.제 14 항에 있어서, 그 계면활성제가 폴리옥시알킬렌알킬에테르 유도체인 것을 특징으로 하는 에칭 방법.제 11 항에 있어서, 그 에칭액은 옥살산암모늄의 함유량이 0.05 ~ 5 중량％ 이고, 과산화수소의 함유량이 0.2 ~ 10 중량％ 이며, 계면활성제의 함유량이 0.0001 ~ 5 중량％ 인 것을 특징으로 하는 에칭 방법.제 11 항에 있어서, 배선 또는 전극용의 양(良) 도전성을 갖는 금속이 알루미늄, 티탄, 니켈, 주석, 납, 은, 금, 팔라듐 및 이들 금속의 1 종 이상을 주성분으로 하는 합금으로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상인 것을 특징으로 하는 에칭 방법.제 11 항에 있어서,20 ~ 50℃ 의 온도에서 에칭을 실시하는 것을 특징으로 하는 에칭 방법.제 11 항에 있어서,그 에칭액은 적어도 옥살산암모늄, 과산화수소, 및 계면활성제를 함유하는 유효 성분과 물을 혼합함으로써 조제된 에칭액으로서, 과산화수소 이외의 유효 성분과 물을 혼합시킨 후, 그 혼합물에 과산화수소를 첨가 혼합하여 얻어지는 것을 특징으로 하는 에칭 방법.
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