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연합인증

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구리 에칭액 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23F-001/34
  • H05K-003/18
출원번호 10-2019-7037698 (2019-12-19)
공개번호 10-2020-0029398 (2020-03-18)
등록번호 10-2472714-0000 (2022-11-25)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2017-137995 (2017-07-14)
국제출원번호 PCT/JP2018/025863 (2018-07-09)
국제공개번호 WO 2019/013160 (2019-01-17)
번역문제출일자 2019-12-19
DOI http://doi.org/10.8080/1020197037698
발명자 / 주소
  • 키타이, 마코토 / 일본 ******* 사이타마 사이타마시 키타쿠 요시노쵸 *-*-* 테크놀로지 디벨롭먼트 디파트먼트 멜텍스가부시키가이샤 나이
  • 와타리구치, 시게루 / 일본 ******* 사이타마 사이타마시 키타쿠 요시노쵸 *-*-* 테크놀로지 디벨롭먼트 디파트먼트 멜텍스가부시키가이샤 나이
  • 쿠마가이, 히로유키 / 일본 ******* 사이타마 사이타마시 키타쿠 요시노쵸 *-*-* 테크놀로지 디벨롭먼트 디파트먼트 멜텍스가부시키가이샤 나이
  • 마츠바라, 토시아키 / 일본 ******* 사이타마 사이타마시 키타쿠 요시노쵸 *-*-* 테크놀로지 디벨롭먼트 디파트먼트 멜텍스가부시키가이샤 나이
  • 나카무라, 타다유키 / 일본 ******* 사이타마 사이타마시 키타쿠 요시노쵸 *-*-* 테크놀로지 디벨롭먼트 디파트먼트 멜텍스가부시키가이샤 나이
출원인 / 주소
  • 멜텍스 가부시키가이샤 / 일본 도쿄토 츄오쿠 니혼바시혼쵸 *쵸메 *방 *고
대리인 / 주소
  • 특허법인필앤온지
심사청구여부 있음 (2020-12-16)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본원 발명의 과제는, 갈바닉 부식을 확실히 억제할 수 있으며, 욕 관리가 용이하고 에칭 속도가 우수한 구리 에칭액을 제공하는 것을 목적으로 한다. 상기 과제를 해결하기 위하여, 알칼리성의 수용액으로 이루어지는 구리 에칭액으로서, 1~70g/L의 구리; 25% 암모니아수 환산으로 10~500g/L의 암모니아수; 및 5~500g/L의 암모늄염;을 포함하고, 상기 암모늄염은 무기산의 암모늄염, 술폰산의 암모늄염, 포화 지방산의 암모늄염, 방향족 카르본산의 암모늄염, 히드록시산의 암모늄염, 디카르본산의 암모늄염의 군에서 선택되는 1종 또는

대표청구항

구리보다 귀한 금속과 도통하는 구리에 이용하는 알칼리성 구리 에칭액으로서, 1~70g/L의 구리; 25% 암모니아수 환산으로 10~500g/L의 암모니아수; 및 5~500g/L의 암모늄염;을 포함하고, 상기 암모늄염은, 황산암모늄, 탄산수소암모늄, 질산암모늄인 무기산의 암모늄염, 메탄술폰산암모늄인 술폰산의 암모늄염, 아세트산암모늄인 포화 지방산의 암모늄염, 벤조산암모늄인 방향족 카르본산의 암모늄염, 락트산암모늄인 히드록시산의 암모늄염, 옥살산암모늄인 디카르본산의 암모늄염의 군에서 선택되는 2종 이상의 암모늄염인 것을 특징으로 하는

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 구리층 및 몰리브덴층을 포함하는 다층 구조막용 에칭액 | 타마이, 사토시, 오카베, 사토시, 마츠바라, 마사히데, 유베, 쿠니오
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