초록

본 발명은 불소를 함유하고 있는 알칼리 가용성 수지로서, 본 발명에 의한 알칼리 가용성 수지는 소수성이 요구되는 경우에 사용가능하며, 불소 첨가량의 제한이 적으며, 소수성, 광가교성 및 현상성을 모두 가진다.

대표청구항 ▼

다음의 화학식 1 내지 화학식 3으로 표시되는 단위체를 포함하는 알칼리 가용성 수지.화학식 1화학식 2화학식 3상기 화학식 1 내지 화학식 3에서, X1, X2는 수소, 탄소수 1~3의 알킬기, 알콕시기 중에서 선택되고,Y는 탄소수 1~3의 알킬렌, 에틸렌 옥사이드 및 프로필렌 옥사이드로 이루어진 군에서 선택되고,Z는 탄소수 1~3의 알킬렌, 사이클로헥센, 사이클로헥산 및 벤젠기에서 선택되고,A는 벤질옥시카보닐기, 벤질기, 이소보닐기, 사이클로헥실기, N-페닐 말레이미드기 중에서 1종 이상 선택된 것이고,B는 불소원자를 하나 이상

다음의 화학식 1 내지 화학식 3으로 표시되는 단위체를 포함하는 알칼리 가용성 수지.화학식 1화학식 2화학식 3상기 화학식 1 내지 화학식 3에서, X1, X2는 수소, 탄소수 1~3의 알킬기, 알콕시기 중에서 선택되고,Y는 탄소수 1~3의 알킬렌, 에틸렌 옥사이드 및 프로필렌 옥사이드로 이루어진 군에서 선택되고,Z는 탄소수 1~3의 알킬렌, 사이클로헥센, 사이클로헥산 및 벤젠기에서 선택되고,A는 벤질옥시카보닐기, 벤질기, 이소보닐기, 사이클로헥실기, N-페닐 말레이미드기 중에서 1종 이상 선택된 것이고,B는 불소원자를 하나 이상 함유하고 있는 플루오르기 및 플루오르알킬기 중에서 선택된다.청구항 1에 있어서,상기 알칼리 가용성 수지는 다음의 화학식 4로 표시되고, a, b, c는 몰혼합비이며, a는 10~40이고, b 및 c를 합한 비율은 10~60인 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지.화학식 4 X1, X2는 수소, 탄소수 1~3의 알킬기, 알콕시기 중에서 선택되고,Y는 탄소수 1~3의 알킬렌, 에틸렌 옥사이드 및 프로필렌 옥사이드로 이루어진 군에서 선택되고,Z는 탄소수 1~3의 알킬렌, 사이클로헥센, 사이클로헥산 및 벤젠기에서 선택되고,A는 벤질옥시카보닐기, 벤질기, 이소보닐기, 사이클로헥실기, N-페닐 말레이미드기 중에서 1종 이상 선택된 것이고,B는 불소원자를 하나 이상 함유하고 있는 플루오르기 및 플루오르알킬기 중에서 선택된다.청구항 1에 있어서,상기 알칼리 가용성 수지는, 다음의 화학식 5로 표시되는 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지.화학식 5상기 화학식 5에서 a 내지 e는 몰혼합비이고, a,b,c를 합한 비율은 10~40이고, d,e 를 합한 비율은 10~60이다.청구항 1에 있어서,상기 알칼리 가용성 수지의 산가는 30~200 KOH mg/g 이고, 중량 평균 분자량은 1,000~200,000 g/mol인 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지.청구항 1에 있어서,a) 화학식 1로 표시되는 모노머와 에폭시기를 가지는 모노머를 중합하여 고분자를 제조하는 단계;b) 상기 a)단계에서 합성된 고분자에 카복실산 화합물을 투입하여 고분자를 합성하는 단계;c) 상기 b)단계에서 합성된 고분자에 고리형 무수물을 투입하여 산기를 형성하는 단계;를 포함하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법.청구항 5에 있어서,상기 a)단계에서 상기 에폭시기를 가지는 모노머는 다음의 화학식 6으로 표시되는 모노머인 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법.화학식 6 X1은 수소, 탄소수 1~3의 알킬기, 알콕시기 중에서 선택되고,Y는 탄소수 1~3의 알킬렌, 에틸렌 옥사이드 및 프로필렌 옥사이드로 이루어진 군에서 선택된다.청구항 5에 있어서,상기 b)단계에서 상기 카복실산 화합물은 다음의 화학식 7 및 화학식 8로 표시되는 화합물인 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법.화학식 7화학식 8 X2는 수소, 탄소수 1~3의 알킬기, 알콕시기 중에서 선택되고,B는 불소원자를 1개 이상 함유하고 있는 플루오르기 및 플루오르 알킬기 중에서 선택된다.청구항 7에 있어서,상기 화학식 7로 표시되는 화합물은, 아크릴산, 메타크릴산, 에틸 아크릴산, 프로필 아크릴산 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법.청구항 7에 있어서,상기 화학식 8로 표시되는 화합물은 트리플루오르 아세틱 애시드, 펜타플루오르 프로피오닉 애시드, 헵타플루오르 뷰티릭 애시드, 노나플루오르 펜타노익 애시드, 2,3,3,3-테트라플루오르 프로피오닉 애시드, 3,3,3-트리플루오르-2-트리플루오르 메틸프로파노익 애시드 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법.청구항 5에 있어서,상기 c)단계에서 상기 고리형 무수물은 숙신산 무수물 및 테트라하이드로 프탈산 무수물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법.청구항 5에 있어서,상기 알칼리 가용성 수지의 제조는 라디칼 중합 개시제를 이용하는, 라디칼 중합에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법.청구항 11에 있어서,상기 라디칼 중합에서 사용되는 라디칼 중합 개시제는 2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스-(2,4-디메틸발레로니트릴), 벤조일퍼옥사이드 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법.청구항 11에 있어서, 상기 라디칼 중합은 50~150℃에서 1~48시간의 중합시간동안 이루어지는 것을 특징으로 하는 알칼리 가용성 수지의 제조방법.청구항 1 내지 청구항 4에 의한 알칼리 가용성 수지 중에서 선택되는 알칼리 가용성 수지;와에틸렌성 불포화 결합을 갖는 중합성 화합물;과광개시제;와용매;를 포함하는 감광성 수지 조성물.청구항 14에 있어서,전체 감광성 수지 조성물 중 상기 알칼리 가용성 수지는 1~20중량%,상기 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 중합성 화합물은 1~10중량%,상기 광개시제는 0.1~5중량%,상기 용매는 10~95 중량% 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.