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[한국특허] 몰리브덴 에칭액으로부터 몰리브덴 화합물을 회수하는 방법
METHOD FOR RECOVERING MOLYBDENUM FROM MOLYBDENUM ETCHING SOLUTION
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • C01G-039/00
  • H01L-021/306
출원번호 10-2008-0012959 (2008-02-13)
공개번호 10-2009-0087615 (2009-08-18)
등록번호 10-0940116-0000 (2010-01-26)
DOI http://doi.org/10.8080/1020080012959
발명자 / 주소
  • 박종진 / 서울 강남구 일원본동 한솔마을아파트 ***-***
  • 강진구 / 경기 수원시 권선구 고색동 ***-*번지
  • 박민호 / 인천 강화군 불은면 덕성리 ***번지
  • 김용석 / 서울 도봉구 창동 주공*번지 ***-****
출원인 / 주소
  • 한양대학교 산학협력단 / 서울 성동구 행당동 ** 한양대학교 내
대리인 / 주소
  • 특허법인 씨엔에스·로고스
심사청구여부 있음 (2008-02-13)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 몰리브덴 에칭액으로부터 몰리브덴 화합물을 회수하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 몰리브덴을 회수하기 위해 고온에서 처리하는 방식을 취하지 않고서도 페로몰리브덴 원료로 사용할 수 있는 몰리브덴 화합물을 간편한 방법으로 바로 회수할 수 있는 방법에 관한 것이다.본 발명의 회수 방법은 과산화수소수에 몰리브덴이 용해된 몰리브덴 에칭용액을 준비하는 단계; 상기 몰리브덴 에칭용액에 CaO를 첨가하면서 교반하는 단계; 그리고 상기 CaO 첨가에 의해 몰리브덴 에칭용액의 pH가 5~10이 될 때 CaO 첨가를 중단하고 CaO 첨

대표청구항

과산화수소수에 몰리브덴이 용해된 몰리브덴 에칭용액을 준비하는 단계;상기 몰리브덴 에칭용액에 CaO를 첨가하면서 교반하는 단계; 그리고 상기 CaO 첨가에 의해 몰리브덴 에칭용액의 pH가 5~10이 될 때 CaO 첨가를 중단하고 CaO 첨가에 의해 생성된 침전물을 회수하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 몰리브덴 에칭액으로부터 몰리브덴 화합물을 회수하는 방법.

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