초록 ▼

본 발명은 클린룸 배기 장치 및 그 시공방법에 관한 것으로, 이중마루 구조를 사용하지 않도록 콘크리트 바닥에 별도의 가공없이 콘크리트 타설로 인해 배기공을 형성하고, 그 배기공에 필요한 면적의 개구량을 가지는 원형의 알루미늄 패널을 설치함으로써 수직 층류형 클린룸 구조보다 진동과 지진하중에 대하여 견고하고 저렴한 클린룸 배기 장치 및 그 시공방법을 제공함에 그 목적이 있다. 본 발명을 적용하면, 구조적으로 매우 안정적이며, 배기공이 형성되는 배기패널은 최적으로 분할된 보강리브의 배열로 인하여 집중하중에 대한 반력이 높고, 상면을 개

본 발명은 클린룸 배기 장치 및 그 시공방법에 관한 것으로, 이중마루 구조를 사용하지 않도록 콘크리트 바닥에 별도의 가공없이 콘크리트 타설로 인해 배기공을 형성하고, 그 배기공에 필요한 면적의 개구량을 가지는 원형의 알루미늄 패널을 설치함으로써 수직 층류형 클린룸 구조보다 진동과 지진하중에 대하여 견고하고 저렴한 클린룸 배기 장치 및 그 시공방법을 제공함에 그 목적이 있다. 본 발명을 적용하면, 구조적으로 매우 안정적이며, 배기공이 형성되는 배기패널은 최적으로 분할된 보강리브의 배열로 인하여 집중하중에 대한 반력이 높고, 상면을 개공하여 클린룸 내부의 기류를 효과적으로 배출하도록 최대 55%의 개공면적을 형성하여 배기성이 매우 우수하다. 또한, 배기패널과 바닥 구조물과의 유격으로 인한 소음 진동을 완충링이 흡수하여 종래의 억세스플로어가 구성된 크린룸의 바닥 구조보다 보행 진동과 소음이 매우 작은 클린룸을 구성할 수 있고, 시공비용이나 장치 비용이 저렴하다는 장점이 있다.

대표청구항 ▼

고집적회로의 제조실, 유전공학연구실, 미립자 제조실을 위한 클린룸의 배기장치에 있어서, 지면상에 설치된 배기파이프와 하단이 일정간격마다 연결되게 구성되며, 원통형상으로 이루어진 배기구 지지프레임(4)과;상기 배기구 지지프레임(4)의 상단 내주연에 결합되는 링형상의 지지링(3)과;상기 지지링(3)의 내부 바닥면에 부착되며, 링형상의 완충링(2)과;상기 완충링(2)의 상면에 결합되며, 원형형상으로 이루어지고, 다수개의 배기공이 형성되어져 있으며, 지지력을 높이기 위한 리브가 그 배기공의 주위에 다수개 형성된 배기패널(1)로 구성되고,

고집적회로의 제조실, 유전공학연구실, 미립자 제조실을 위한 클린룸의 배기장치에 있어서, 지면상에 설치된 배기파이프와 하단이 일정간격마다 연결되게 구성되며, 원통형상으로 이루어진 배기구 지지프레임(4)과;상기 배기구 지지프레임(4)의 상단 내주연에 결합되는 링형상의 지지링(3)과;상기 지지링(3)의 내부 바닥면에 부착되며, 링형상의 완충링(2)과;상기 완충링(2)의 상면에 결합되며, 원형형상으로 이루어지고, 다수개의 배기공이 형성되어져 있으며, 지지력을 높이기 위한 리브가 그 배기공의 주위에 다수개 형성된 배기패널(1)로 구성되고, 그 배기패널(1)은 가로 9개 및 세로 9개의 주보강 리브(1-b)로 분할 구성되며, 그 사이에 가로방향으로 5개의 보조 리브(1-c)가 형성되며, +자형 리브(1-d)를 하중 지지의 중심으로 하중을 주변 주보강 리브(1-b)로 분산하게 형성되어져 있고, 분산된 하중과 전체의 주보강 리브(1-b)의 응력과 변형을 보강리브(1-f)를 원형으로 설치하여 흡수되게 형성된 것을 특징으로 하는 클린룸 배기 장치.