초록

본 발명은 측면에 팬 필터 유닛(FFU: Fan Filter Unit)을 설치해서 측면 송풍을 수행하면서 송풍 기류를 조정하도록 구현한 클린룸 구조에 관한 것으로, 외부와 분리 또는 격리시켜 주면서 일정한 크기의 공간을 가지도록 형성한 룸부; 및 룸부의 측면에 설치되어, 룸부의 내부를 클린해 주는 FFU부를 포함한다.

대표청구항 ▼

외부와 분리 또는 격리시켜 주면서 일정한 크기의 공간을 가지도록 형성한 룸부; 및 상기 룸부의 측면에 설치되어, 상기 룸부의 내부를 클린해 주는 FFU부를 포함하되; 상기 룸부는, 틀을 형성해 주기 위한 틀부재; 상기 틀부재를 덮어씌워 상기 틀부재를 분리 또는 격리해 주기 위한 커버부재; 및 바닥을 형성해 주기 위한 바닥부재를 포함하며; 상기 바닥부재는, 제전 타일 또는 에폭시 코팅으로 형성시켜 바닥에서 발생하는 정전기가 대전되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하며; 상기 FFU부는, 정상 가동 시에, 청정 공기를 기 설정된 최대 거

외부와 분리 또는 격리시켜 주면서 일정한 크기의 공간을 가지도록 형성한 룸부; 및 상기 룸부의 측면에 설치되어, 상기 룸부의 내부를 클린해 주는 FFU부를 포함하되; 상기 룸부는, 틀을 형성해 주기 위한 틀부재; 상기 틀부재를 덮어씌워 상기 틀부재를 분리 또는 격리해 주기 위한 커버부재; 및 바닥을 형성해 주기 위한 바닥부재를 포함하며; 상기 바닥부재는, 제전 타일 또는 에폭시 코팅으로 형성시켜 바닥에서 발생하는 정전기가 대전되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하며; 상기 FFU부는, 정상 가동 시에, 청정 공기를 기 설정된 최대 거리까지 측면 송풍시켜, 측면 송풍된 공기를 상기 룸부 측면의 반대편 단부의 상부 또는 전후부에 설치된 흡입부를 통해 배출하도록 하며;상기 FFU부는, 작업자가 작업하지 않을 시에, 별도의 에어 샤워를 거치지 않도록 하기 위해서, 기 설정해 둔 양압유지량으로 내부 송풍량을 조절하여 외부 먼지의 유입만을 막아 클린도를 유지시키며; 휴식 후 재가동 시에, 기 설정된 시간 이내에 기 설정된 클린도를 달성하기 위해서 강제 기류 조정 모드를 수행하며; 강제 기류 조정 모드 수행 시에, 기 설정해 둔 강제기류조정송풍량인, 정상 가동 시보다 30% 증가된 송풍량으로 측면 송풍해 주며; FFU를 복수 단의 적재로 높이를 조절해 주며, FFU를 복수 단으로 적재할 시에, FFU 간 접촉되는 부분을 서로 부착 고정시켜 주며, 또한 적재된 복수 개의 FFU가 일체 형태로 이루어질 수 있도록 복수 개의 FFU의 외면을 밴딩기구물로 밴딩시켜 고정하는 것을 특징으로 하는 클린룸 구조.