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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2008-0092257 (2008-09-19) |
공개번호 | 10-2010-0033197 (2010-03-29) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080092257 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
증착챔버로부터 증착된 웨이퍼가 언로딩될 때의 웨이퍼 표면 손상을 억제할 수 있는 웨이퍼 증착장치 및 그 방법이 개시된다. 개시된 본 발명에 의한 웨이퍼 증착방법은, 가열되는 증착챔버 내부로 소스가스와 제 1 캐리어가스가 공급되는 단계, 퍼지가스를 분사하는 완드유닛에 의해 파지된 웨이퍼가 증착챔버 내부로 이송되는 단계, 증착챔버의 내부에서 웨이퍼가 증착되는 단계 및, 증착챔버로 공급되는 제 1 캐리어가스가 제 2 캐리어가스로 전환되면, 증착된 웨이퍼가 완드유닛에 의해 파지되어 증착챔버로부터 언로딩되는 단계를 포함하며, 제 2 캐리어가
가열되는 증착챔버 내부로 소스가스와 제 1 캐리어가스가 공급되는 단계;퍼지가스를 분사하는 완드유닛에 의해 파지된 웨이퍼가 상기 증착챔버 내부로 이송되는 단계; 상기 증착챔버의 내부에서 상기 웨이퍼가 증착되는 단계; 및상기 증착챔버로 공급되는 제 1 캐리어가스가 제 2 캐리어가스로 전환되면, 상기 증착된 웨이퍼가 상기 완드유닛에 의해 파지되어 상기 증착챔버로부터 언로딩되는 단계; 를 포함하며, 상기 제 2 캐리어가스와 퍼지가스는 동일 성분인 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 증착방법.
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