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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2008-0105808 (2008-10-28) |
| 공개번호 | 10-2010-0046793 (2010-05-07) |
| 등록번호 | 10-1010311-0000 (2011-01-17) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020080105808 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2008-10-28) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명은 기판을 세정 처리하는 매엽식 기판 처리 장치에 관한 것으로, 본 발명의 기판 처리 장치는 기판이 놓여지는 스핀 헤드를 포함하는 기판지지부재; 상기 스핀 헤드 주위를 감싸도록 설치되어 기판상에서 비산되는 약액과 흄(fume)을 포함한 공기를 유입 및 흡입하는 환형의 흡입덕트가 다단으로 배치되는 처리용기; 상기 흡입덕트들 각각에 연결되고 회수된 처리유체가 배출되는 배출라인들; 및 상기 배출라인들 각각으로부터 연결되는 폐수 배출라인과 리사이클 배출라인; 상기 폐수 배출라인과 상기 리사이클 배출라인에 설치되어 제1밸브 및 제2밸
매엽식 기판 처리 장치에 있어서: 기판이 놓여지는 스핀 헤드를 포함하는 기판지지부재; 상기 스핀 헤드 주위를 감싸도록 설치되어 기판상에서 비산되는 약액과 흄(fume)을 포함한 공기를 유입 및 흡입하는 환형의 흡입덕트가 다단으로 배치되는 처리용기;상기 흡입덕트들 각각에 연결되고 회수된 처리유체가 배출되는 배출라인들; 및상기 배출라인에 연결되며, 회수된 처리유체의 재사용을 위한 리사이클 배출라인과, 폐수 배출라인으로 분류하여 배출하는 분리 배출 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치.
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