초록

본 발명은 홀 효과를 이용하여 반도체의 특성값을 측정하는 홀 효과 측정장치에 관한 것으로, 본 발명의 일실시예는 홀 효과를 이용하여 반도체 샘플의 특성값을 측정하는 홀 효과 측정장치에 있어서, 샘플이 셋팅된 샘플홀더가 내부에 삽입되고 일측에 설치되는 전동모터에 의해 영구자석을 이동시켜 샘플에 소정의 자기장을 형성하는 자속밀도 인가장치와, 샘플홀더의 온도를 조절하여 샘플의 온도를 설정하는 샘플온도 조절수단을 포함하고, 샘플에 전류를 인가하여 그 샘플에서 출력되는 홀 전압을 측정하는 홀 효과 측정장치를 제공한다.

대표청구항 ▼

홀 효과를 이용하여 반도체 샘플의 특성값을 측정하는 홀 효과 측정장치에 있어서,샘플이 셋팅된 샘플홀더가 내부에 삽입되고 일측에 설치되는 전동모터에 의해 영구자석을 이동시켜 상기 샘플에 소정의 자기장을 형성하는 자속밀도 인가장치와, 상기 샘플홀더의 온도를 조절하여 상기 샘플의 온도를 설정하는 샘플온도 조절수단;을 포함하고, 상기 샘플에 전류를 인가하여 그 샘플에서 출력되는 홀 전압을 측정하되,상기 샘플온도 조절수단은, 상기 자속밀도 인가장치의 상측에 구비되며 상기 샘플을 냉각시키기 위한 액체질소가 저장되는 액체질소 저장용기와, 상기

홀 효과를 이용하여 반도체 샘플의 특성값을 측정하는 홀 효과 측정장치에 있어서,샘플이 셋팅된 샘플홀더가 내부에 삽입되고 일측에 설치되는 전동모터에 의해 영구자석을 이동시켜 상기 샘플에 소정의 자기장을 형성하는 자속밀도 인가장치와, 상기 샘플홀더의 온도를 조절하여 상기 샘플의 온도를 설정하는 샘플온도 조절수단;을 포함하고, 상기 샘플에 전류를 인가하여 그 샘플에서 출력되는 홀 전압을 측정하되,상기 샘플온도 조절수단은, 상기 자속밀도 인가장치의 상측에 구비되며 상기 샘플을 냉각시키기 위한 액체질소가 저장되는 액체질소 저장용기와, 상기 샘플홀더의 일측에 설치되는 히터를 포함하고, 상기 히터에 전류를 인가하여 상기 샘플의 온도를 설정하며,상기 액체질소 저장용기는, 상기 액체질소가 저장되는 본체와, 상기 본체의 바닥면에 일단이 결합되고 타단은 상기 자속밀도 인가장치의 내부로 연장 형성되는 열전달부를 포함하고, 상기 열전달부는, 상기 본체의 바닥면에 결합되고 원형 단면 형상을 가진 결합부와, 상기 결합부에서 외측으로 확장 형성되며 반경 방향으로 소정 깊이의 봉히터 삽입홈이 형성되는 지지부와, 상기 지지부로부터 상기 자속밀도 인가장치의 내부로 연장 형성되고 직사각형 단면 형상을 가지는 돌출부를 포함하되, 상기 돌출부에 상기 샘플홀더가 장착되는 것을 특징으로 하는 홀 효과 측정장치.