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연합인증

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반도체 클린룸 천정구조 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/00
출원번호 10-2008-0136658 (2008-12-30)
공개번호 10-2010-0078402 (2010-07-08)
등록번호 10-1042238-0000 (2011-06-10)
DOI http://doi.org/10.8080/1020080136658
발명자 / 주소
  • 박형식 / 서울특별시 송파구 문정동 문정래미안 *** - ****
출원인 / 주소
  • 주식회사 태우이엔지 / 서울특별시 송파구 가락동 ***-*
대리인 / 주소
  • 이형규
심사청구여부 있음 (2008-12-30)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 상부패널 및 하부패널로 구성되며, 지지봉에 의하여 상부의 슬래부층에 고정되는 천정패널; 상단부의 오른나사가 상기 천정패널과 연결되는 턴버클; 및 상기 턴버클의 하단부와 연결되며, 제1몰드바 및 상기 제1몰드바에 수직한 방향에 위치하는 제1몰드바로 구성되는 블라인드패널을 포함하여 구성되되, 상기 천정패널과 상기 턴버클의 상단의 연결은 상기 천정패널의 상부패널 또는 하부패널의 단면의 형상에 대응하도록 형성되어, 상기 상부패널 또는 하부패널이 끼워지는 패널결합홀 및 하단에 구비되며 내측에 슬라이딩이 가능하도록 구비되는 슬라이드

대표청구항

상부패널 및 상기 상부패널의 하부와 연결되는 하부패널로 구성되며, 지지봉에 의하여 상부의 슬래부층에 고정되는 천정패널;상단부의 오른나사가 상기 천정패널과 연결되는 턴버클;상기 턴버클의 하단부와 연결되며, 제1몰드바 및 상기 제1몰드바에 수직한 방향에 위치하는 제1몰드바로 구성되는 블라인드패널을 포함하여 구성되되,상기 천정패널과 상기 턴버클의 연결은,상기 천정패널의 상부패널 또는 하부패널의 단면의 형상에 대응하도록 형성되어, 상기 상부패널 또는 하부패널이 끼워지는 패널결합홀 및 하단에 구비되며 내측에 슬라이딩 이동이 가능하도록 구비되

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 클린룸의 천장틀 결합구조 | 이병구
  2. [한국] 오픈 플레넘 씰링 시스템 | 이완근

이 특허를 인용한 특허 (5)

  1. [한국] 레이스웨이 유닛 및 이를 갖는 OHT | 최정열, 채성근, 장보순
  2. [한국] 엔드플레이트 제거용 지그 | 박부국
  3. [한국] 반도체 클린룸의 천정구조 | 김영욱, 이용주, 한제술, 남승백, 윤종보, 김남욱, 김재웅, 박성훈
  4. [한국] 레이스웨이 유닛 및 이를 갖는 OHT | 김도현, 장보순, 조길현, 조재익
  5. [한국] 클린룸용 시스템 실링 | 이신환, 전상훈, 김태균, 박준희, 서은지
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