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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0000371 (2009-01-05) |
공개번호 | 10-2010-0081092 (2010-07-14) |
등록번호 | 10-0998597-0000 (2010-11-30) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090000371 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2009-01-05) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 여분 셀 분석을 위한 웨이퍼테스트 시스템 및 방법에 관한 것으로, 특히 웨이퍼를 테스트한 후 셀 정보를 여분 셀 분석용 컴퓨터에 전송할 때 전송 시간을 대폭 줄일 수 있도록 한 여분 셀 분석을 위한 웨이퍼테스트 시스템 및 방법에 관한 것이다.또한, 본 발명에 따른 웨이퍼테스트 시스템은 미리 정해진 기준신호와 피시험메모리가 출력하는 판독신호를 비교하고, 상기 비교 결과에 따른 셀 정보를 출력하는 핀일렉트로닉스부; 상기 핀일렉트로닉스부가 출력하는 셀 정보가 불량임을 나타내는 경우에 상기 셀 정보와 해당 셀 주소를 셀 정보 저
미리 정해진 기준신호와 피시험메모리가 출력하는 판독신호를 비교하고, 상기 비교 결과에 따른 셀 정보를 출력하는 핀일렉트로닉스부;상기 핀일렉트로닉스부가 출력하는 셀 정보가 불량임을 나타내는 경우에 상기 셀 정보와 해당 셀 주소를 셀 정보 저장용 메모리에 기록하는 기록부;상기 셀 정보 저장용 메모리에 기록되어 있는 정보를 여분 셀 분석용 컴퓨터에 전송하기 위한 전송부;상기 셀 정보 저장용 메모리에 기록되는 셀 정보의 개수를 카운트하는 카운트부; 및상기 카운트 수가 미리 정해놓은 한계치를 초과한 경우에는 상기 기록부를 제어하여 셀 정보의
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