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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0006223 (2009-01-23) |
공개번호 | 10-2010-0086799 (2010-08-02) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090006223 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
마이크로 히터는, 기판, 금속 패턴 및 보호층을 포함할 수 있다. 금속 패턴은 기판과 이격되어 위치할 수 있다. 보호층은 금속 패턴상에 위치하며, 금속 패턴 물질을 포함하는 고용체로 이루어질 수도 있다. 또는 보호층은 금속 패턴 및 기판상에 위치할 수도 있다. 마이크로 히터의 제조 방법은, 기판 및 금속 패턴을 준비하는 단계, 및 기판 및 금속 패턴상에 제1 보호층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 또한, 마이크로 히터의 제조 방법은, 금속 패턴에 전압을 인가하여 가열하는 단계, 및 금속 패턴의 구성 물질을 제1 보호층으로 확산시
기판; 상기 기판과 이격된 금속 패턴; 및 상기 금속 패턴상의 보호층을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 히터.
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