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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0012853 (2009-02-17) |
등록번호 | 10-0928666-0000 (2009-11-19) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090012853 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2009-02-19) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 웨이퍼 표면의 결함 분석을 위한 웨이퍼 결함 부위의 이온 데코레이션을 함에 있어서 데코레이션 작업과 이온 추출 작업을 별도로 분리하고 이온 추출이 완료된 전해액이 순환되도록 하여 데코레이션 작업 시 번거롭고 긴 시간이 소요되는 과정을 최소화시켜 전체 데코레이션에 소요되는 시간을 획기적으로 단축시켜 종국적으로 웨이퍼 결함 분석 시간의 단축과 결함 분석의 효율성을 향상시키도록 하는 웨이퍼 결함 분석장치 및 이에 이용되는 이온추출장치와 이를 이용한 웨이퍼 결함 분석방법을 제공한다.또한, 데코레이션 작업을 위한 이온 추출 시 이
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