초록 ▼

본 발명은 다이싱용 이중 작업대 및 이를 포함한 다이싱 장치에 관한 것으로, 서로 독립적으로 구동되어 절삭부로 이송되는 이중 작업대를 설치하여, 상기 이중 작업대가 교대로 절삭부 측으로 이송되었다가 돌아오는 과정을 반복함으로써, 사전 작업 및 분류 작업을 절삭 가공과 함께 반복적으로 수행할 수 있는 다이싱용 이중 작업대 및 상기 이중 작업대를 포함하는 다이싱 장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 다이싱 장치에서는 이를 위하여, 반도체 웨이퍼를 지지하여 고정시키는 두 개의 고정 플레이트와, 각각의 고정 플레이트에 결합되어 X축 방향으로

본 발명은 다이싱용 이중 작업대 및 이를 포함한 다이싱 장치에 관한 것으로, 서로 독립적으로 구동되어 절삭부로 이송되는 이중 작업대를 설치하여, 상기 이중 작업대가 교대로 절삭부 측으로 이송되었다가 돌아오는 과정을 반복함으로써, 사전 작업 및 분류 작업을 절삭 가공과 함께 반복적으로 수행할 수 있는 다이싱용 이중 작업대 및 상기 이중 작업대를 포함하는 다이싱 장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 다이싱 장치에서는 이를 위하여, 반도체 웨이퍼를 지지하여 고정시키는 두 개의 고정 플레이트와, 각각의 고정 플레이트에 결합되어 X축 방향으로 이송 또는 반송되는 두 개의 이송 플레이트와, 상기 두 개의 이송 플레이트 각각을 X축 방향에 대하여 독립적으로 반복하여 이송 또는 반송시키는 이송 장치부와, 상기 이송 장치부를 제어하는 제어기를 포함하여 구성하는 한편, 상기 제어기는 상기 두 개의 이송 플레이트가 교대로 이송되고 반송되어 서로 다른 위치의 상기 고정 플레이트 상에서 서로 다른 작업이 동시에 수행될 수 있도록 제어하는 다이싱용 이중 작업대를 포함하도록 구성하여 작업의 효율을 향상시킬 수 있는 다이싱용 이중 작업대 및 이를 포함한 다이싱 장치를 제공한다.

대표청구항

반도체 웨이퍼를 지지하여 고정시키는 두 개의 고정 플레이트와;각각의 고정 플레이트에 결합되어 X축 방향으로 이송 또는 반송되는 두 개의 이송 플레이트와;상기 두 개의 이송 플레이트 각각을 X축 방향에 대하여 독립적으로 반복하여 이송 또는 반송시키는 이송 장치부와;상기 이송 장치부를 제어하는 제어기를; 포함하여 이루어지며,상기 제어기는 상기 두 개의 이송 플레이트가 교대로 이송되고 반송되어 서로 다른 위치의 상기 고정 플레이트 상에서 서로 다른 작업이 동시에 수행될 수 있도록 제어하는 다이싱용 이중 작업대.

반도체 웨이퍼를 지지하여 고정시키는 두 개의 고정 플레이트와;각각의 고정 플레이트에 결합되어 X축 방향으로 이송 또는 반송되는 두 개의 이송 플레이트와;상기 두 개의 이송 플레이트 각각을 X축 방향에 대하여 독립적으로 반복하여 이송 또는 반송시키는 이송 장치부와;상기 이송 장치부를 제어하는 제어기를; 포함하여 이루어지며,상기 제어기는 상기 두 개의 이송 플레이트가 교대로 이송되고 반송되어 서로 다른 위치의 상기 고정 플레이트 상에서 서로 다른 작업이 동시에 수행될 수 있도록 제어하는 다이싱용 이중 작업대.