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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0019600 (2010-03-04) |
공개번호 | 10-2011-0100548 (2011-09-14) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100019600 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-03-04) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 연마용 콜로이달 실리카 슬러리에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 실리식산에 수산화알칼리를 반응시켜 제조되며, 비구형 형태를 갖는 콜로이달 실리카를 포함하여 연마 효율이 높은 실리콘 웨이퍼 에지 연마용 콜로이달 실리카 슬러리 및 이의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 콜로이달 실리카 슬러리는 비구형 형태, 50~100nm의 평균입자크기 및 울퉁불퉁한 표면을 갖는 콜로이달 실리카를 포함하여 분산 안정성이 뛰어나고 낮은 실리카 농도로도 높은 연마속도를 낼 수 있으며, 건조 겔 퇴적현상과 과도한 에칭현상을 방지할 수 있는 특
실리식산에 수산화알칼리를 반응시켜 제조되며, 비구형 형태를 갖는 콜로이달 실리카를 포함하는 연마용 콜로이달 실리카 슬러리.
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