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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0020765 (2010-03-09) |
공개번호 | 10-2011-0101623 (2011-09-16) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100020765 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 평판표시장치용 제조설비 내에서 카세트를 운반하는 랙마스터 또는 카세트이송대차에 관한 것으로 특히, 랙마스터 또는 카세트이송대차의 주행시 발생하는 갈림이물이 스토커 내부 또는 클린룸 내부로 비산(飛散)되는 것을 방지하고자 하는 것이다. 본 발명의 특징은 스태커로봇의 한쌍의 리프팅포스트에 팬유닛과 집진유닛으로 이루어지는 공기순환장치를 구비함으로써, 리프팅프레임의 승강에 의한 수직이동시 리프팅포스트 내부에 구비된 알루미늄 또는 스테인리스와 같은 금속재질로 이루어진 순환체인으로부터 많은 갈림 이물이 발생되어도, 이와 같은 갈림
본체와;상기 본체 하부에 부설되며, 트롤리레일(trolly rail)을 따라 이동하는 이동부와;상기 본체의 서로 마주보는 양측으로 상향 직립된 한쌍의 리프팅포스트(lifting post)와;상기 리프팅포스트의 상부에 구비되어, 상기 리프팅포스트 내부로 기체를 분사하는 팬유닛(fan unit)과, 상기 기체를 흡입하는 집진유닛(集塵 unit)으로 이루어지는 공기순환장치와; 상기 한쌍의 리프팅포스트 사이에 수평하게 구비되며, 상기 리프팅포스트 길이방향을 따라 승하강하는 리프팅프레임(lifting frame)과;상기 리프팅프레임 상에 회
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