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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0034709 (2010-04-15) |
공개번호 | 10-2011-0115291 (2011-10-21) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100034709 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2011-08-19) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명에 의한 DLC 코팅장치는, 압력용기로 형성된 진공챔버; 상기 진공챔버 내부에 배치되어, 그 상측에 코팅을 위한 피처리물이 배치되는 기판; 상기 진공챔버 내부의 공기를 진공챔버 외부로 배출하는 진공 배기장치; 상기 진공챔버 내부로 아르곤(Ar)과 아세틸렌 가스(C2H2)를 주입하는 가스 공급장치; 상기 진공챔버 내부에 이온을 발생시키는 이온발생장치; 및 상기 이온발생장치와 기판에 바이어스 전압을 공급하여 플라즈마를 형성하는 전원공급장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
압력용기로 형성된 진공챔버;상기 진공챔버 내부에 배치되어, 그 상측에 코팅을 위한 피처리물이 배치되는 기판;상기 진공챔버 내부의 공기를 진공챔버 외부로 배출하는 진공 배기장치;상기 진공챔버 내부로 아르곤(Ar)과 아세틸렌 가스(C2H2)를 주입하는 가스 공급장치;상기 진공챔버 내부에 이온을 발생시키는 이온발생장치; 및상기 이온발생장치와 기판에 바이어스 전압을 공급하여 플라즈마를 형성하는 전원공급장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 DLC 코팅장치.
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