IPC분류정보
| 국가/구분 |
한국(KR)/등록특허
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 |
10-2010-0036364
(2010-04-20)
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| 공개번호 |
10-2011-0116761
(2011-10-26)
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| 등록번호 |
10-1825493-0000
(2018-01-30)
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| DOI |
http://doi.org/10.8080/1020100036364
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발명자
/ 주소 |
- 이병진
/ 경기도 용인시 기흥구 흥덕*로***번길 **, 자연앤스위첸 ***동 ***호 (영덕동)
- 박홍식
/ 경기도 수원시 영통구 태장로 **, 현대아이파크아파트 ***동 ****호 (망포동)
- 이태형
/ 대전광역시 중구 서문로 **, ***동 ****호 (문화동, 센트럴파크)
- 송용성
/ 대전광역시 유성구 반석로 **, 반석마을 ***동 ****호 (반석동)
- 박충우
/ 대전광역시 유성구 송림로 **, 송림마을 *단지 ***동 ***호 (하기동)
- 오종현
/ 충청남도 보령시 옥갓티*길 ** (대천동)
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| 출원인 / 주소 |
- 삼성디스플레이 주식회사 / 경기도 용인시 기흥구 삼성로 * (농서동)
- 솔브레인 주식회사 / 경기도 성남시 분당구 판교로***번길 ** (삼평동)
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 |
있음 (2015-03-27) |
| 심사진행상태 |
등록결정(일반) |
| 법적상태 |
등록 |
초록
본 발명은 표시장치의 금속 배선을 식각하기 위한 식각액에 관한 것으로, 본 발명에 따른 금속 배선 식각액은 과산화수소, 산화제, 불소 화합물, 킬레이트제, 질산계 화합물, 붕소계 화합물, 첨가제 및 잔량의 물을 포함하는 것을 특징으로 한다.
대표청구항
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과산화수소 5 내지 15 중량%, 산화제 0.5 내지 5 중량%, 불소 화합물 0.1 내지 1 중량%, 질산계 화합물 0.5 내지 5 중량%, 붕소계 화합물 0.05 내지 1 중량%를 포함하는 금속 배선용 식각액 조성물에 있어서,상기 금속 배선은 구리막, 구리합금막, 티타늄막, 티타늄합금막, 몰리브덴막, 몰리브덴합금막 또는 이들이 적층된 다중막이고,상기 산화제는 황산수소칼륨, 질산나트륨, 황산암모늄, 황산나트륨, 황산수소나트륨 또는 이들의 혼합물을 포함하고,상기 불소 화합물은 산성불화암모늄, 불화규산, 불화수소칼륨, 불산 또는 이들
과산화수소 5 내지 15 중량%, 산화제 0.5 내지 5 중량%, 불소 화합물 0.1 내지 1 중량%, 질산계 화합물 0.5 내지 5 중량%, 붕소계 화합물 0.05 내지 1 중량%를 포함하는 금속 배선용 식각액 조성물에 있어서,상기 금속 배선은 구리막, 구리합금막, 티타늄막, 티타늄합금막, 몰리브덴막, 몰리브덴합금막 또는 이들이 적층된 다중막이고,상기 산화제는 황산수소칼륨, 질산나트륨, 황산암모늄, 황산나트륨, 황산수소나트륨 또는 이들의 혼합물을 포함하고,상기 불소 화합물은 산성불화암모늄, 불화규산, 불화수소칼륨, 불산 또는 이들의 혼합물을 포함하고,상기 질산계 화합물은 질산, 질산칼륨, 질산암모늄, 질산나트륨 또는 이들의 혼합물을 포함하고,상기 붕소계 화합물은 붕산, 붕산염, 산화붕소, 보라졸 또는 이들의 혼합물을 포함하는 금속 배선용 식각액 조성물.
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