[특허]포토레지스트 조성물, 이를 이용한 패턴 형성 방법 및 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)	G03F-007/022 H01L-021/027
출원번호	10-2010-0040837 (2010-04-30)
공개번호	10-2011-0121301 (2011-11-07)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020100040837
발명자 / 주소	홍필순 / 경기도 화성시 반송동 시범다은마을다숲캐슬아파트 *동 호 박귀현 / 경기도 오산시 내삼미동 - 주진호 / 서울특별시 마포구 도화동 마포삼성아파트 동 *호 송진호 / 경기도 용인시 수지구 상현동 서원마을 단지 아이파크 *동 호 김상태 / 전라북도 익산시 신흥동 -* 동우 화인켐 주식회사 김성현 / 전라북도 익산시 신흥동 *- 동우 화인켐 주식회사 장원영 / 전라북도 익산시 신흥동 *- 동우 화인켐 주식회사 윤종흠 / 전라북도 익산시 신흥동 *- 동우 화인켐 주식회사 이은상 / 전라북도 익산시 신흥동 *- 동우 화인켐 주식회사 임민주 / 전라북도 익산시 신흥동 *- 동우 화인켐 주식회사
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 매탄동 * 동우 화인켐 주식회사 / 전북 익산시 신흥동 -*호
대리인 / 주소	특허법인가산
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록

피식각막에 대해서 우수한 밀착력을 갖는 포토레지스트 조성물, 이를 이용한 패턴 형성 방법 및 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법을 제공한다. 포토레지스트 조성물은, 알칼리 가용성 수지, 감광성 화합물, 하기의 화학식 1의 화합물 0.01 내지 0.1 중량부, 및 용매를 포함한다.<화학식 1>(단. 상기 화학식 1에서 R은 수소, 탄소수 1 내지 10의 알킬, 탄소수 4 내지 8의 사이클로 알킬, 또는 벤젠이다.)

대표청구항

알칼리 가용성 수지;감광성 화합물;하기의 화학식 1의 화합물 0.01 내지 0.1 중량부; 및용매를 포함하는 포토레지스트 조성물.<화학식 1>(단. 상기 화학식 1에서 R은 수소, 탄소수 1 내지 10의 알킬, 탄소수 4 내지 8의 사이클로 알킬, 또는 벤젠이다.)

내보내기 메뉴

내보내기 구분

파일저장
인쇄
메일전송

구성항목

기본정보
상세정보

관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC

저장형식

Text(ASCII format)
Excel format
PIAS분석(.xls)

메일정보

받는사람 (필수): @
보내는사람 (선택): @
제목
내용: KISTI 검색결과 이메일 서비스

안내

총 건의 자료가 검색되었습니다.

다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000)

검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다.

데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요)

다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다.
파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오.

Text(ASCII format)
Excel format

AI-Helper ※ AI-Helper는 을 사용합니다.

AI-Helper

안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

연합인증

포토레지스트 조성물, 이를 이용한 패턴 형성 방법 및 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법 원문보기

초록

대표청구항

발명자의 다른 특허 :

연구과제 타임라인

이 특허에 인용된 특허 (3)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

이 특허와 함께 이용한 콘텐츠

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
저장형식	Text(ASCII format) Excel format PIAS분석(.xls)
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format