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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2010-0089338 (2010-09-13) | |
| 공개번호 | 10-2012-0027639 (2012-03-22) | |
| 등록번호 | 10-1226266-0000 (2013-01-18) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020100089338 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2010-09-13) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명은 태양전지용 웨이퍼상에 건식 식각 기법으로 플라즈마 텍스처링을 실시할 때 플라즈마 이온의 밀도와 균일성을 향상시키고 이온 에너지를 적절히 제어하여 태양 전지의 제조 효율 및 품질이 향상되도록 한 기술에 관한 것이다. 이를 위해, 유전체 윈도우와 챔버몸체로 이루어져 텍스처링 대상의 태양전지용 웨이퍼가 수용되는 챔버; 상기 유전체 윈도우의 외측 상부에 설치되어 플라즈마를 형성하기 위한 자계를 발생하는 다각형 구조의 안테나 코일을 구비한다.그리고, 복수개의 고주파 전력 발생기 및 고주파 매칭부를 포함하는 고주파 하부파워 공급부를
유전체 윈도우와 챔버몸체로 이루어져 텍스처링 대상의 태양전지용 웨이퍼가 수용되는 챔버;상기 유전체 윈도우의 외측 상부에 설치되어 플라즈마를 형성하기 위한 자계를 발생하는 다각형 구조의 안테나 코일;상기 챔버의 하부전극에 공정특성에 상응되는 고주파 전력을 공급하는 고주파 하부파워 공급부 및,상기 다각형의 안테나 코일에 고주파 전력을 공급하는 고주파 소스파워 공급부를 구비하되,상기 안테나 코일은 수평 방향으로 배열된 다수의 코일과, 상기 수평방향으로 배열된 코일의 하부 또는 상부에 수직 방향으로 배열된 다수의 코일에 의해 배치 타입으로
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