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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2010-0129247 (2010-12-16) |
| 공개번호 | 10-2012-0067701 (2012-06-26) |
| 등록번호 | 10-1206075-0000 (2012-11-22) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020100129247 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2010-12-16) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 실리콘산화막, 실리콘질화막 및 폴리실리콘막을 모두 화학 기계적 연마할 수 있는 슬러리 조성물에 관한 것으로서, 콜로이달 실리카, 옥살산 및 용매를 포함하며, 상기 콜로이달 실리카는 1차 입자의 평균 입경과 2차 입자의 평균 입경의 비가 0.8 내지 1.5이다. 상기 화학 기계적 연마용 슬러리 조성물은 실리콘질화막 및 폴리실리콘막을 실리콘산화막 대비 0.5 내지 2.0의 연마 선택비로 화학 기계적 연마할 수 있다.
콜로이달 실리카, 옥살산 및 용매를 포함하며,상기 콜로이달 실리카는 1차 입자의 평균 입경과 2차 입자의 평균 입경의 비가 1:1 내지 1:1.5이고,상기 화학 기계적 연마용 슬러리 조성물 전체에 대하여 상기 콜로이달 실리카를 0.5 내지 6 중량%로 포함하고, 상기 옥살산을 0.2 내지 5 중량%로 포함하며,실리콘산화막에 대한 실리콘질화막 및 폴리실리콘막의 연마 선택비가 각각 0.5 내지 2.0인 것인 화학 기계적 연마용 슬러리 조성물.
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