[특허]양이온 계면활성제를 포함하는 배선용 무전해 동도금액 및 이에 의해 제조된 동 피막

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[한국특허] 양이온 계면활성제를 포함하는 배선용 무전해 동도금액 및 이에 의해 제조된 동 피막
Electroless copper plating solution including cationic surfactant for wiring and copper coating layer prepared by the same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC9판)	C23C-018/40 C23C-018/31
출원번호	10-2010-0132116 (2010-12-22)
공개번호	10-2012-0070693 (2012-07-02)
등록번호	10-1224207-0000 (2013-01-14)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020100132116
발명자 / 주소	이홍기 / 인천광역시 연수구 해송로 *, 웰카운티아파트 동 호 (송도동) 허진영 / 서울특별시 양천구 목동중앙남로 , ***호 (목동, 신목아파트)
출원인 / 주소	한국생산기술연구원 / 충청남도 천안시 서북구 입장면 양대기로길 **
대리인 / 주소	손민
심사청구여부	있음 (2010-12-22)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 구리이온, 구리이온 착화제, 구리이온 환원제, 촉매 및 pH 조정제 외에 양이온성 계면활성제를 포함함으로써, 1) 소지층 표면활성화 효과를 통한 응력(Stress) 감소 및 접합력 증대 효과를 나타내고 2) 배선 적용 물질의 주요 요구 특성인 저항 감소 및 미세 트렌치에 공극(Void)이나 심(Seam)과 같은 결함이 없는 동 피막을 제조할 수 있는 양이온 계면활성제를 포함하는 배선용 무전해 동도금액 및 이에 의해 제조된 동 피막에 관한 것이다.

대표청구항

금속염으로서 황산구리 5수화물; 환원제로서 37% 포르말린; 착화제로서 롯셀염(Rochelle Salt) 4수화물; 촉매로서 염화니켈 6수화물;pH 조절제로서 수산화나트륨; 및양이온 계면활성제를 포함하며, 상기 양이온 계면활성제는 4차 암모늄이고, 상기 양이온 계면활성제의 농도는 5 내지 30g/l인 것을 특징으로 하는, 배선용 무전해 동도금액.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

[한국] 미세배선을 형성하기 위한 무전해 화학 동도금용 조성물 | 이홍기, 허진영
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이 특허를 인용한 특허 (1)

[한국] 포스포늄염을 사용한 도금액 | 나카야 기요타카, 와타나베 마미
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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