초록 ▼

본 발명은, 적어도, 피세정물을 침지하여 세정하기 위한 세정액을 수용하는 세정조와, 상기 세정조에 초음파를 전반하기 위한 전반수를 수용하는 초음파 전반조와, 초음파 전반조의 하부에 배치된 진동자에 의해 초음파를 전반수에 중첩하는 진동판과, 세정하는 피세정물을 세정조 중에 유지하는 유지 치구를 구비하며, 피세정물이 유지 치구로 유지되어 세정조 내의 세정액에 침지되고, 세정조가 초음파 전반조 내의 전반수에 담가져 진동판에 의해 중첩한 초음파를 전반수를 통해 세정조에 전반시켜 피세정물을 초음파 세정하는 초음파 세정 장치로서, 초음파 전반

본 발명은, 적어도, 피세정물을 침지하여 세정하기 위한 세정액을 수용하는 세정조와, 상기 세정조에 초음파를 전반하기 위한 전반수를 수용하는 초음파 전반조와, 초음파 전반조의 하부에 배치된 진동자에 의해 초음파를 전반수에 중첩하는 진동판과, 세정하는 피세정물을 세정조 중에 유지하는 유지 치구를 구비하며, 피세정물이 유지 치구로 유지되어 세정조 내의 세정액에 침지되고, 세정조가 초음파 전반조 내의 전반수에 담가져 진동판에 의해 중첩한 초음파를 전반수를 통해 세정조에 전반시켜 피세정물을 초음파 세정하는 초음파 세정 장치로서, 초음파 전반조를 수평면 내에서 요동시키는 전반조 요동 기구를 구비하는 초음파 세정 장치이다.이에 의해, 초음파 세정에 있어서의 피세정물의 세정 얼룩짐을 억제하고, 세정조수를 삭감하여 장치의 코스트를 저감할 수 있어, 파티클 제거를 효과적으로 실시할 수 있는 초음파 세정 장치 및 초음파 세정 방법이 제공된다.

대표청구항 ▼

적어도, 피세정물을 침지하여 세정하기 위한 세정액을 수용하는 세정조와, 상기 세정조에 초음파를 전반하기 위한 전반수를 수용하는 초음파 전반조와, 상기 초음파 전반조의 하부에 배치된 진동자에 의해 초음파를 상기 전반수에 중첩하는 진동판과, 세정하는 피세정물을 상기 세정조 중에 유지하는 유지 치구를 구비하며, 상기 피세정물이 상기 유지 치구로 유지되고, 상기 세정조 내의 세정액에 침지되고, 상기 세정조가 상기 초음파 전반조 내의 전반수에 담가져 상기 진동판에 의해 중첩한 초음파를 전반수를 통해 세정조에 전반시켜 상기 피세정물을 초음파

적어도, 피세정물을 침지하여 세정하기 위한 세정액을 수용하는 세정조와, 상기 세정조에 초음파를 전반하기 위한 전반수를 수용하는 초음파 전반조와, 상기 초음파 전반조의 하부에 배치된 진동자에 의해 초음파를 상기 전반수에 중첩하는 진동판과, 세정하는 피세정물을 상기 세정조 중에 유지하는 유지 치구를 구비하며, 상기 피세정물이 상기 유지 치구로 유지되고, 상기 세정조 내의 세정액에 침지되고, 상기 세정조가 상기 초음파 전반조 내의 전반수에 담가져 상기 진동판에 의해 중첩한 초음파를 전반수를 통해 세정조에 전반시켜 상기 피세정물을 초음파 세정하는 초음파 세정 장치에 있어서, 상기 초음파 전반조를 수평면 내에서 요동시키는 전반조 요동 기구를 구비하는 초음파 세정 장치.