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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2011-0005516 (2011-01-19) |
공개번호 | 10-2012-0084148 (2012-07-27) |
등록번호 | 10-1177878-0000 (2012-08-22) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020110005516 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2011-01-19) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 베이스 기판; 상기 베이스 기판 상에 형성되고, 형성하고자 하는 프로브 핀의 형상에 대응하는 트렌치; 상기 트렌치의 표면 상부에 형성된 산화막; 및 상기 산화막의 상부에 형성된 자기 조립 단분자 패턴을 포함하는 몰드용 기판 및 이를 이용한 프로브 핀의 제조방법에 관한 것으로, 프로브 핀의 제작을 위한 몰드 형성과정을 간소화하고 프로브 핀 제조공정에서 몰드를 계속적으로 재활용할 수 있는 효과가 있다.
베이스 기판;상기 베이스 기판 상에 형성되고, 형성하고자 하는 프로브 핀의 형상에 대응하는 트렌치;상기 트렌치의 표면 상부에 형성된 산화막; 및상기 산화막의 상부에 형성된 자기 조립 단분자 패턴을 포함하는 몰드용 기판.
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