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연합인증

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프로브 핀 및 이의 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G01R-001/067
출원번호 10-2015-0166167 (2015-11-26)
공개번호 10-2017-0061314 (2017-06-05)
DOI http://doi.org/10.8080/1020150166167
발명자 / 주소
  • 이주열 / 경상남도 김해시 장유로***번길 **, ***동 ****호 (포스코더샵아파트)
  • 정용수 / 경상남도 창원시 성산구 상남로 **, **동 ***호 (상남동, 대우아파트)
  • 이주영 / 경상남도 김해시 월산로 ***, ***동 ****호 (부곡동, 월산마을부영아파트)
  • 이상열 / 경상남도 김해시 관동로 *** (관동동)
  • 임재홍 / 경상남도 창원시 의창구 북면 동전로 **, ***동 ***호 (감계힐스테이트 *차)
  • 송영섭 / 대구광역시 동구 화랑로**길 *, ***동 ****호 (방촌동, 우방강촌마을아파트)
  • 임동찬 / 서울특별시 양천구 목동동로 ***, ***동 ****호 (목동, 목동신시가지아파트*단지)
출원인 / 주소
  • 한국기계연구원 / 대전광역시 유성구 가정북로 *** (장동)
대리인 / 주소
  • 특허법인가산
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

본 발명은 프로브 팁 및 프로브 빔을 포함하는 프로브 핀에 있어서, 상기 프로브 핀은 NiB 합금으로 이루어지는 제1금속층 및 상기 제1금속층의 상부에 형성되는 제2금속층을 포함하는 프로브 핀 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 기계적 특성이 우수하면서, 이와 동시에 전기적 특성이 우수한 프로브 핀을 제공할 수 있다.

대표청구항

프로브 팁 및 프로브 빔을 포함하는 프로브 핀에 있어서,상기 프로브 핀은 NiB 합금으로 이루어지는 제1금속층 및 상기 제1금속층의 상부에 형성되는제2금속층을 포함하는 프로브 핀.

발명자의 다른 특허 :

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