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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0166167 (2015-11-26) | |
공개번호 | 10-2017-0061314 (2017-06-05) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150166167 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 프로브 팁 및 프로브 빔을 포함하는 프로브 핀에 있어서, 상기 프로브 핀은 NiB 합금으로 이루어지는 제1금속층 및 상기 제1금속층의 상부에 형성되는 제2금속층을 포함하는 프로브 핀 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 기계적 특성이 우수하면서, 이와 동시에 전기적 특성이 우수한 프로브 핀을 제공할 수 있다.
프로브 팁 및 프로브 빔을 포함하는 프로브 핀에 있어서,상기 프로브 핀은 NiB 합금으로 이루어지는 제1금속층 및 상기 제1금속층의 상부에 형성되는제2금속층을 포함하는 프로브 핀.
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