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연합인증

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몰드용 기판 및 이를 이용한 프로브 핀의 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/66
  • G01R-001/067
출원번호 10-2011-0005516 (2011-01-19)
공개번호 10-2012-0084148 (2012-07-27)
등록번호 10-1177878-0000 (2012-08-22)
DOI http://doi.org/10.8080/1020110005516
발명자 / 주소
  • 이주열 / 경상남도 김해시 장유면 장유로***번길 **, 더 샵 아파트 ***동 ****호
  • 정용수 / 경상남도 창원시 성산구 상남로 **, **동 ***호 (상남동, 대우아파트)
  • 장도연 / 경상남도 창원시 성산구 원이대로 ***, ***동 ***호 (반림동, 트리비앙아파트)
  • 김만 / 경상남도 창원시 성산구 원이대로***번길 *, 기계연구원 재료연구소 아파트 ***호 (가음동)
  • 이규환 / 경상남도 창원시 반림동 현대아파트 ***동 ****호
  • 임재홍 / 경상남도 창원시 성산구 원이대로***번길 *, 기계연구원 재료연구소 아파트 ***호 (가음동)
  • 이상열 / 경상남도 김해시 장유면 덕정로 ***, 부영e그린타운 ***동 ****호
  • 차수섭 / 경상남도 창원시 의창구 반계로 ***-**, 원풍벽산아파트 ***동 ***호 (팔용동)
출원인 / 주소
  • 한국기계연구원 / 대전광역시 유성구 가정북로 *** (장동)
대리인 / 주소
  • 특허법인가산
심사청구여부 있음 (2011-01-19)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 베이스 기판; 상기 베이스 기판 상에 형성되고, 형성하고자 하는 프로브 핀의 형상에 대응하는 트렌치; 상기 트렌치의 표면 상부에 형성된 산화막; 및 상기 산화막의 상부에 형성된 자기 조립 단분자 패턴을 포함하는 몰드용 기판 및 이를 이용한 프로브 핀의 제조방법에 관한 것으로, 프로브 핀의 제작을 위한 몰드 형성과정을 간소화하고 프로브 핀 제조공정에서 몰드를 계속적으로 재활용할 수 있는 효과가 있다.

대표청구항

베이스 기판;상기 베이스 기판 상에 형성되고, 형성하고자 하는 프로브 핀의 형상에 대응하는 트렌치;상기 트렌치의 표면 상부에 형성된 산화막; 및상기 산화막의 상부에 형성된 자기 조립 단분자 패턴을 포함하는 몰드용 기판.

발명자의 다른 특허 :

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