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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2011-0022615 (2011-03-15) | |
공개번호 | 10-2012-0105070 (2012-09-25) | |
등록번호 | 10-1263454-0000 (2013-05-06) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020110022615 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2011-03-15) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본발명은 하기 화학식 1로 표시되는 신규한 지르코늄 유기금속화합물 및 그의 제조방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 화학 기상 증착법(Chemical vapor deposition : CVD) 또는 원자층 증착법(Atomic layer deposion : ALD)에 적용 가능하고 열적, 화학적으로 안정한 지르코늄 유기금속화합물 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따라 합성된 지르코늄 유기금속화합물은 고휘발성이며 열적으로 안정하여 지르코늄 금속 산화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다.(화학식 1)상기 화학식 1에서,R1는
하기 화학식 1의 유기금속 화합물(화학식 1)상기 화학식 1에서,R1는 C1-C4의 알킬기이고;R2및R3는 서로 독립적으로 C1-C6의 알킬기이다.
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