[특허]박막용 유기금속화합물 및 그 제조방법, 그리고 이를 이용한 박막 및 그 제조방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C07F-007/00 C23C-016/18 C23C-016/455 H01L-021/02 H01L-021/285
출원번호	10-2019-0026840 (2019-03-08)
공개번호	10-2019-0027807 (2019-03-15)
등록번호	10-2070311-0000 (2020-01-20)
우선권정보	대한민국(KR) 1020170024297 (2017-02-23)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020190026840
발명자 / 주소	변영훈 / 경기도 오산시 유엔평화로 *, 층 (외삼미동) 김호훈 / 충청북도 음성군 원남면 원남산단로 *(상당리 ) 김점종 / 충청남도 아산시 탕정면 탕정면로 , 동 호(탕정삼성트라팰리스아파트) 배우리 / 경기도 용인시 처인구 양지면 중부대로번길 이윤식 / 충청북도 음성군 원남면 원남산단로 *(상당리 ) 신수정 / 충청북도 음성군 원남면 원남산단로 (상당리 ) 강은영 / 충청북도 음성군 원남면 원남산단로 (상당리 *)
출원인 / 주소	주식회사 메카로 / 경기도 평택시 산단로 *- (모곡동)
대리인 / 주소	특허법인이룸리온
심사청구여부	있음 (2019-03-08)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명의 유기금속화합물 및 그 제조방법, 그리고 이를 이용한 박막 및 그 제조방법은 박막 증착 속도를 증가시키며 공정상 오염을 저하시킴과 동시에 넓은 온도 범위에서 사용될 수 있다. 또한, 제조공정의 신뢰도 및 효율성을 현저히 향상시킬 수 있다.

대표청구항 ▼

하기 화학식 2의 구조를 갖는 박막용 유기금속화합물;[화학식 1]상기 화학식 1에서, M은 Ti, Zr 또는 Hf 중에서 선택되며;Xa는 이며, Xb는 이고, Xc는 이며;Y는 각각 독립적으로 C, N 또는 O이며;R1은 C1~9의 알킬기 또는 헤테로알킬기이며;R2, R3 및 R4는 각각 독립적으로 C1~9의 알킬기, -OCH3 또는 -CH2OCH3 이고, 상기 R3 및 R4는 존재하거나 존재하지 않으며;Q1, Q2 및 Q3은 각각 독립적으로 N, P, As 또는 P=O이며;A 및 B는 각각 독립적으로 C1~9의 알킬기 또는 헤테로알킬기이며, 상기 A 및 B는 적어도 어느 하나 이상은 존재하며;m1은 0 내지 3의 정수이고, m2는 1 또는 2이며, -((R5)m3Y)n-은 C2~5의 알킬렌기, -(CH2CH2OCH2)- 또는 -(CH2NHCH2)-이고,상기 m1 및 m2는 각각 결합된 탄소, Y 및 Q1의 원자가를 충족시키는 정수이며,단, B가 존재하지 않고, A 및 -((R5)m3Y)n-가 모두 에틸렌기일 때, R2 및 R3가 모두 메틸기인 것은 제외한다.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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